基于半导体激光光纤组件的四自由度测量仪的研制
| 中文摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-10页 |
| 第一章 引言 | 第10-16页 |
| ·国内外多自由度测量现状 | 第10-15页 |
| ·激光干涉测试技术 | 第11页 |
| ·多光束基准法测量技术 | 第11-12页 |
| ·动态目标全姿态激光跟踪测量 | 第12-13页 |
| ·多CCD 的视觉测量技术 | 第13页 |
| ·利用全息透镜的多自由度测量技术 | 第13-14页 |
| ·API 公司五自由度测量仪 | 第14-15页 |
| ·本论文的研究目标 | 第15-16页 |
| 第二章 四自由度测量仪的研制 | 第16-33页 |
| ·仪器的总体设计 | 第16-17页 |
| ·仪器的测量原理 | 第17-19页 |
| ·直线度测量原理 | 第17-18页 |
| ·角度测量原理 | 第18-19页 |
| ·测量系统的组成 | 第19-32页 |
| ·光路部分 | 第19-22页 |
| ·光电探测器件 | 第22-26页 |
| ·电路部分 | 第26-31页 |
| ·软件部分 | 第31-32页 |
| ·小结 | 第32-33页 |
| 第三章 仪器静态特性实验及分析 | 第33-48页 |
| ·仪器的标定 | 第33-36页 |
| ·直线度的标定 | 第33-35页 |
| ·角度的标定 | 第35-36页 |
| ·仪器的稳定性测量 | 第36-38页 |
| ·仪器的重复性实验 | 第38-42页 |
| ·仪器的对比性实验 | 第42-47页 |
| ·定点对比 | 第42-45页 |
| ·实际导轨测量对比实验 | 第45-47页 |
| ·小结 | 第47-48页 |
| 第四章 仪器的误差分析 | 第48-53页 |
| ·外界环境引起的误差 | 第48-49页 |
| ·背景光引起的误差 | 第48-49页 |
| ·空气扰动及温度梯度引起的误差 | 第49页 |
| ·仪器本身的系统误差 | 第49-51页 |
| ·光源及准直系统稳定性的影响 | 第49-51页 |
| ·角度误差对直线度误差的影响 | 第51页 |
| ·小结 | 第51-53页 |
| 第五章 总结 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-57页 |
