基于GPS标准体系的表面微观形貌三维表征研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-15页 |
| ·GPS体系概述 | 第9-11页 |
| ·GPS体系的演化 | 第9-10页 |
| ·GPS体系的内容 | 第10-11页 |
| ·我国GPS体系的研究现状 | 第11页 |
| ·表面微观形貌的表征和评定概况 | 第11-13页 |
| ·表面微观形貌概述 | 第11-12页 |
| ·表面微观形貌表征和评定的发展 | 第12-13页 |
| ·课题的研究目的、意义及应用前景 | 第13-14页 |
| ·本文的主要工作 | 第14-15页 |
| 第二章 新一代GPS体系及表面微观形貌的地位 | 第15-23页 |
| ·新一代GPS标准体系分析 | 第15-18页 |
| ·新一代GPS系统模型 | 第15-16页 |
| ·新一代GPS的框架体系 | 第16-18页 |
| ·新一代GPS标准体系的最新进展和研究动态 | 第18-20页 |
| ·新一代GPS体系的研究现状 | 第18-19页 |
| ·新一代GPS标准体系的发展方向 | 第19-20页 |
| ·表面形貌的划分及其与表面性能和GPS的关系 | 第20-22页 |
| ·表面形貌的划分 | 第20-21页 |
| ·表面形貌与表面性能的关系 | 第21-22页 |
| ·表面微观形貌在GPS中的地位和作用 | 第22页 |
| ·小结 | 第22-23页 |
| 第三章 表面微观形貌的二维表征和评定 | 第23-34页 |
| ·基于中线制的表面形貌表征和评定 | 第23-29页 |
| ·表征和评定基准的确定 | 第23-26页 |
| ·二维表征和评定参数 | 第26-29页 |
| ·MOTIF表征与评定 | 第29-32页 |
| ·二维Motif评定方法 | 第29-31页 |
| ·Motif参数对表面功能的表征 | 第31-32页 |
| ·Motif法与中线法的分析比较 | 第32-33页 |
| ·其他方法 | 第33页 |
| ·小结 | 第33-34页 |
| 第四章 基于形貌中面的AREAL表征研究 | 第34-54页 |
| ·当前的三维表征评定现状 | 第34-36页 |
| ·3D-Motif法 | 第34-35页 |
| ·三维分形表征 | 第35页 |
| ·基于形貌中面的评定方法 | 第35页 |
| ·当前三维评定的特点 | 第35-36页 |
| ·AREAL表征形貌中面的确定 | 第36-40页 |
| ·最小二乘多项式拟合法 | 第36-37页 |
| ·基于小波的评定基准 | 第37页 |
| ·Areal表征的高斯评定基准 | 第37-40页 |
| ·AREAL表征参数分析 | 第40-49页 |
| ·AREAL表征参数体系的设想 | 第49-51页 |
| ·AREAL表征参数与表面功能的对应关系分析 | 第51-53页 |
| ·三维形貌表征和评定的流程 | 第53页 |
| ·小结 | 第53-54页 |
| 第五章 研磨表面微观形貌的三维测量及表征分析 | 第54-68页 |
| ·表面微观形貌测量方法 | 第54页 |
| ·原子力显微镜概述 | 第54-57页 |
| ·基本原理 | 第54-56页 |
| ·原子力显微镜的工作模式 | 第56-57页 |
| ·实验描述 | 第57-58页 |
| ·研磨表面的三维微观形貌表征分析 | 第58-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 第六章 总结与展望 | 第68-69页 |
| ·总结 | 第68页 |
| ·不足与展望 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 附录一 | 第73-74页 |
| 附录二 | 第74-75页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
