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用导电原子力显微镜研究锗硅量子点和量子环的形貌和电学特性

摘要第1-4页
Abstract第4-8页
第一章 绪论第8-18页
 §1.1 课题研究背景第8-9页
 §1.2 锗硅量子点物理性质的研究现状第9-11页
 §1.3 CAFM第11-14页
  §1.3.1 扫描探针显微镜第11-12页
  §1.3.2 CAFM第12-14页
 §1.4 论文内容简介第14-15页
 参考文献第15-18页
第二章 实验方法和表征手段第18-28页
 §2.1 生长设备第18-19页
 §2.2 样品生长第19页
  §2.2.1 GeSi量子点的生长第19页
  §2.2.2 GeSi量子环的制备第19页
 §2.3 电学性质研究方法第19-25页
  §2.3.1 原子力显微镜第20-23页
  §2.3.2 CAFM第23-24页
  §2.3.3 样品的准备及测试条件第24-25页
 §2.4 CAFM实验中的问题第25-27页
 参考文献第27-28页
第三章 GeSi量子点和量子环的形貌表征第28-38页
 §3.1 GeSi量子点的AFM形貌分析第28页
 §3.2 AFM观察量子点到量子环的形貌转变第28-29页
 §3.3 GeSi量子环的AFM形貌研究第29-32页
 §3.4 AFM表征中针尖效应的修正第32-36页
  §3.4.1 模型一第32-34页
  §3.4.2 模型二第34-35页
  §3.4.3 模型三第35页
  §3.4.4 AFM修正数据的比较第35-36页
 §3.5 小结第36-37页
 参考文献第37-38页
第四章 CAFM研究GeSi量子点的基本原理第38-50页
 §4.1 实验第38页
 §4.2.基本理论第38-40页
  §4.2.1 热电子发射第38-39页
  §4.2.2 F-N隧穿第39-40页
 §4.3 Ⅰ-Ⅴ特性曲线分析第40-44页
  §4.3.1 正压力对Ⅰ-Ⅴ特性曲线的影响第42-43页
  §4.3.2 腐蚀后空气中暴露时间对Ⅰ-Ⅴ特性曲线的影响第43-44页
 §4.4 电流分布图像分析第44-48页
  §4.4.1 氧化物的厚度对电流分布的影响第45-46页
  §4.4.2 正压力的作用对电流分布的影响第46-48页
 §4.5 小结第48-49页
 参考文献第49-50页
第五章 正压力和偏压对GeSi量子点电流分布图像的影响第50-61页
 §5.1 实验第50-51页
 §5.2 结果和分析第51-58页
  §5.2.1 正压力对电流分布的影响第51-53页
  §5.2.2 偏压对电流分布的影响第53-58页
 §5.3 小结第58-60页
 参考文献第60-61页
第六章 锗硅量子点的瞬态荷电行为的研究第61-80页
 §6.1 GeSi量子点的库仑荷电效应和能级结构第61-63页
  §6.1.1 量子点库仑荷电效应第61-62页
  §6.1.2 量子点的能级结构第62页
  §6.1.3 Si_(1-x)Ge_x/Si异质结构的能带排列第62-63页
 §6.2 实验第63-64页
 §6.3 Ⅰ-Ⅴ特性曲线的分析第64-70页
  §6.3.1 扫描方向第66页
  §6.3.2 扫描速度第66-68页
  §6.3.3 扫描范围第68-69页
  §6.3.4 表面氧化层的作用第69-70页
 §6.4 结果与讨论第70-77页
  §6.4.1 荷电现象的产生的物理过程第70-73页
  §6.4.2 荷电现象的重演第73-74页
  §6.4.3 电流峰出现的位置第74-76页
  §6.4.4 正负偏压扫描对电流峰的影响第76-77页
 §6.5 小结第77-78页
 参考文献第78-80页
第七章 GeSi量子环的CAFM电学性质研究第80-90页
 §7.1 GeSi量子环的制备第80-81页
 §7.2 GeSi量子环的表征第81页
 §7.3 CAFM观察量子环结构电流分布的转变第81-86页
  §7.3.1 GeSi量子点向GeSi量子环的的转变第81-83页
  §7.3.2 单个GeSi量子环的电学特征第83-84页
  §7.3.3 GeSi量子环电流分布和偏压的关系第84-86页
 §7.4 GeSi量子环的负微分电阻特性第86-88页
 §7.5 小结第88-89页
 参考文献第89-90页
工作总结与展望第90-91页
攻读博士学位期间发表的学术论文第91-92页
致谢第92-93页

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