| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-31页 |
| ·微纳尺度几何量测量技术的研究进展 | 第9-12页 |
| ·纳米坐标测量机的研究进展 | 第12-20页 |
| ·纳米坐标测量机传感测头的研究进展 | 第20-29页 |
| ·课题的选题意义及研究内容 | 第29-31页 |
| 第二章 微触觉测头的检测模型 | 第31-53页 |
| ·微触觉测头的工作原理 | 第31-34页 |
| ·微触觉测头的力学模型 | 第34-44页 |
| ·测头在轴向负载下的力学特性 | 第34-37页 |
| ·测头在横向负载下的力学特性 | 第37-41页 |
| ·测头的测量范围 | 第41-43页 |
| ·检测力的影响 | 第43-44页 |
| ·微触觉测头的信号检测 | 第44-53页 |
| ·硅的压阻效应和压阻系数 | 第44-47页 |
| ·压阻的排布方式及信号检测方法 | 第47-50页 |
| ·压阻检测器的设计与分析 | 第50-53页 |
| 第三章 微触觉测头的结构设计和参数优化 | 第53-81页 |
| ·微触觉测头的结构设计要求 | 第53-55页 |
| ·微触觉测头的结构形式设计 | 第55-68页 |
| ·悬挂结构的设计 | 第55-65页 |
| ·测杆及其定位结构设计 | 第65-68页 |
| ·微触觉测头的结构参数优化 | 第68-81页 |
| ·微触觉测头的结构参数优化 | 第69-70页 |
| ·敏感梁结构参数的优化仿真 | 第70-75页 |
| ·测杆结构参数的优化仿真 | 第75-77页 |
| ·中心连接体结构参数的优化仿真 | 第77-79页 |
| ·理论分析与数值模拟的一致性 | 第79-81页 |
| 第四章 微触觉测头的工艺加工技术 | 第81-97页 |
| ·MEMS 悬挂系统的工艺加工技术 | 第81-94页 |
| ·悬挂系统加工的版图设计 | 第81-83页 |
| ·悬挂系统加工的关键工艺 | 第83-90页 |
| ·悬挂系统加工的工艺流程 | 第90-94页 |
| ·测头整体结构的装配、封装与夹持 | 第94-97页 |
| ·测杆的加工 | 第94-95页 |
| ·测头的封装 | 第95-96页 |
| ·测杆和中心连接体的定位和固定 | 第96-97页 |
| 第五章 微触觉测头的性能测试 | 第97-113页 |
| ·微触觉测头性能测试系统 | 第97-104页 |
| ·性能测试系统的整体结构 | 第97-100页 |
| ·压阻信号的检测与调理 | 第100-103页 |
| ·测头系统的软件设计 | 第103-104页 |
| ·微触觉测头静态性能参数的测试 | 第104-108页 |
| ·线性和迟滞性 | 第104-106页 |
| ·分辨力和测量范围 | 第106-107页 |
| ·输出耦合特性 | 第107-108页 |
| ·微触觉测头低频振动性能的测试 | 第108-113页 |
| ·测头轴向低频振动的测试实验及分析 | 第109-111页 |
| ·测头横向低频振动的测试实验及分析 | 第111-113页 |
| 第六章 基于微触觉测头和纳米测量机的微小几何量测试 | 第113-135页 |
| ·基于微触觉测头和纳米测量机的微小几何量测试系统 | 第113-119页 |
| ·纳米测量机的硬件结构 | 第113-117页 |
| ·纳米测量机的测量方法及其数据处理 | 第117-118页 |
| ·微触觉测头与纳米测量机的连接 | 第118-119页 |
| ·基于纳米测量机和微触觉测头的微小几何量测试实验 | 第119-130页 |
| ·微触觉测头的反馈控制及参数标定 | 第119-122页 |
| ·轴向测量精度实验 | 第122-123页 |
| ·横向测量精度实验 | 第123-125页 |
| ·线扫描模式及性能对比 | 第125-127页 |
| ·表面形貌扫描实验及分析 | 第127-130页 |
| ·微结构几何量测量实验误差分析 | 第130-135页 |
| ·测端与被测物之间的磁力对测量的影响 | 第130-131页 |
| ·测杆粘和误差对测量的影响 | 第131-132页 |
| ·测头本身自重对测量的影响 | 第132-133页 |
| ·纳米测量机受环境影响造成的误差 | 第133-135页 |
| 第七章 结论和展望 | 第135-139页 |
| ·论文完成的主要工作 | 第135-136页 |
| ·论文的创新点 | 第136页 |
| ·工作展望 | 第136-139页 |
| 参考文献 | 第139-145页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第145-147页 |
| 致谢 | 第147页 |