高分辨率波前干涉检测技术研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 第一章 引言 | 第7-13页 |
| ·课题研究背景 | 第7页 |
| ·波前畸变的划分 | 第7-9页 |
| ·光学元件中频误差与光强增益系数 | 第9-10页 |
| ·国内外光学元件中频误差检测的发展状况 | 第10页 |
| ·主要研究内容 | 第10-12页 |
| 参考文献 | 第12-13页 |
| 第二章 波前功率谱密度PSD检测技术 | 第13-26页 |
| ·PSD的定义 | 第13-14页 |
| ·PSD的数值计算方法 | 第14-15页 |
| ·PSD加窗计算的修正 | 第15-18页 |
| ·空域加窗对PSD计算的影响 | 第15-16页 |
| ·单频波前加窗PSD修正因子推导 | 第16-17页 |
| ·具有不同频率的波前PSD修正因子推导 | 第17-18页 |
| ·PSD加窗计算修正 | 第18页 |
| ·大口径干涉仪系统传递函数标定 | 第18-22页 |
| ·大口径干涉仪系统传递函数的定义 | 第19-20页 |
| ·大口径干涉仪系统传递函数的测量 | 第20页 |
| ·大口径干涉仪系统传递函数标定 | 第20-21页 |
| ·系统传递函数测量误差分析 | 第21-22页 |
| ·干涉仪PSD测量的有效宽度 | 第22-23页 |
| ·本章小结 | 第23-25页 |
| 参考文献 | 第25-26页 |
| 第三章 干涉仪系统相位传输特性和系统传递函数 | 第26-51页 |
| ·相位信息传递函数和系统传递函数的定义 | 第26-27页 |
| ·照明系统 | 第27-32页 |
| ·干涉条纹对比度对相位测量的影响 | 第27-28页 |
| ·杂光对相位测量的影响 | 第28-29页 |
| ·光源相干性 | 第29-32页 |
| ·成像系统 | 第32-44页 |
| ·单一频率相位信息的传输特性 | 第32-36页 |
| ·多个频率的相位信息传输特性 | 第36-39页 |
| ·系统像差对单一频率相位信息传递函数的影响 | 第39-41页 |
| ·离焦引起的衍射效应 | 第41-44页 |
| ·采集系统 | 第44-48页 |
| ·CCD采集系统的系统传递函数 | 第44-45页 |
| ·影响CCD采集系统STF的主要因素 | 第45-48页 |
| ·影响光学系统传递的其他因素 | 第48页 |
| ·本章小结 | 第48-50页 |
| 参考文献 | 第50-51页 |
| 第四章 高分辨率干涉仪设计 | 第51-68页 |
| ·系统总体设计 | 第51-53页 |
| ·系统总体设计方案 | 第51页 |
| ·系统总体控制流设计 | 第51-52页 |
| ·子孔径干涉仪流程图设计 | 第52页 |
| ·子孔径干涉仪总体结构设计 | 第52-53页 |
| ·照明系统设计 | 第53-56页 |
| ·光源的设计 | 第53-54页 |
| ·扩束聚焦系统的设计 | 第54-55页 |
| ·准直透镜系统设计 | 第55页 |
| ·标准透射平板和标准反射平板 | 第55-56页 |
| ·照明系统波前倾斜公差分析 | 第56页 |
| ·成像系统设计 | 第56-60页 |
| ·成像系统设计理论分析 | 第57-58页 |
| ·成像系统设计结果 | 第58-59页 |
| ·成像系统公差分析 | 第59-60页 |
| ·采集系统设计 | 第60-61页 |
| ·干涉仪系统杂光分析 | 第61-65页 |
| ·偏振分光棱镜 | 第61-63页 |
| ·四分之一波片 | 第63页 |
| ·CCD保护玻璃 | 第63-64页 |
| ·反射率公差分析 | 第64-65页 |
| ·本章小结 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-68页 |
| 第五章 高分辨率干涉仪性能及改进方法 | 第68-78页 |
| ·φ100MM高分辨率干涉仪的精度 | 第68-69页 |
| ·φ100MM高分辨率干涉仪的系统传递函数 | 第69-71页 |
| ·φ100MM高分辨率干涉仪的信噪比 | 第71-72页 |
| ·环形光源技术 | 第72-76页 |
| ·环形光源抑制相干噪声的原理 | 第72-74页 |
| ·环形光源和传统点光源的对比实验 | 第74-76页 |
| ·本章小结 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-78页 |
| 第六章 结论 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
| 附录 | 第80页 |
