PZT驱动的微泵研制及特性分析
| 中文摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-16页 |
| 第1章 引言 | 第16-31页 |
| ·研究背景 | 第16-17页 |
| ·MEMS和微系统 | 第16页 |
| ·微泵 | 第16-17页 |
| ·国内外同类课题研究现状 | 第17-27页 |
| ·有阀型微泵 | 第17-20页 |
| ·无阀型微泵 | 第20-25页 |
| ·扩散/收缩管 | 第25-27页 |
| ·微泵的未来发展趋势 | 第27-28页 |
| ·本课题的意义和主要研究工作 | 第28-29页 |
| ·小结 | 第29-31页 |
| 第2章 无阀型微泵的基本结构、工作原理 | 第31-44页 |
| ·无阀型微泵的基本结构 | 第31-32页 |
| ·无阀型微泵的工作原理 | 第32-43页 |
| ·压电片的工作原理 | 第33-35页 |
| ·扩散/收缩管的流体理论分析 | 第35-43页 |
| ·小结 | 第43-44页 |
| 第3章 无阀型微泵的计算机工艺模拟和制备工艺 | 第44-52页 |
| ·计算机工艺模拟 | 第44-49页 |
| ·IntelliSuite结构体系 | 第44-45页 |
| ·无阀型微泵的工艺流程模拟 | 第45-49页 |
| ·扩散/收缩管的腐蚀模拟 | 第49页 |
| ·无阀型微泵的制备工艺 | 第49-51页 |
| ·小结 | 第51-52页 |
| 第4章 无阀型微泵的实验过程及结果分析 | 第52-66页 |
| ·无阀型微泵的动态性能测试 | 第52-54页 |
| ·频率与流量之间的关系 | 第52-53页 |
| ·电压与流量之间的关系 | 第53-54页 |
| ·无阀型微泵静态性能测试及计算机模拟性能分析 | 第54-65页 |
| ·无阀型微泵的静态性能测试 | 第54-56页 |
| ·无阀型微泵的计算机模拟性能分析 | 第56-65页 |
| ·小结 | 第65-66页 |
| 结论 | 第66-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 独创性声明 | 第75页 |
| 学位论文版权使用授权书 | 第75页 |
