| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-23页 |
| ·铁电薄膜的发展概况 | 第11-12页 |
| ·铁电薄膜的性质和应用 | 第12-14页 |
| ·铁电薄膜的制备方法 | 第14-15页 |
| ·拉曼光谱的原理及其应用 | 第15-18页 |
| ·拉曼散射的经典解释 | 第15-17页 |
| ·拉曼光谱的发展及应用 | 第17-18页 |
| ·薄膜的残余应力以及测量方法 | 第18-20页 |
| ·本论文的选题依据和主要研究内容及研究方法 | 第20-23页 |
| ·选题依据 | 第20-21页 |
| ·主要研究内容及研究方法 | 第21-23页 |
| 第二章 BET薄膜的MOD法制备 | 第23-30页 |
| ·MOD制备方法简介 | 第23-24页 |
| ·实验设备和原料选择以及基底的处理 | 第24-25页 |
| ·BET薄膜的MOD法制备过程 | 第25-28页 |
| ·表面微裂纹的解决 | 第28-29页 |
| ·BET(x=0.85)粉末的制备 | 第29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 BET薄膜的微观结构分析 | 第30-45页 |
| ·微观结构分析方法 | 第30-31页 |
| ·退火温度对BET薄膜微观结构的影响 | 第31-40页 |
| ·XRD相结构分析 | 第31-36页 |
| ·SEM形貌分析 | 第36-38页 |
| ·Raman光谱晶格振动分析 | 第38-40页 |
| ·Eu掺杂量对BET薄膜微观结构的影响 | 第40-43页 |
| ·XRD相结构分析 | 第40-41页 |
| ·SEM形貌分析 | 第41-42页 |
| ·Raman光谱晶格振动分析 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-45页 |
| 第四章 BET薄膜的铁电性能研究 | 第45-58页 |
| ·电极的制备 | 第45页 |
| ·铁电性能测试方法 | 第45-48页 |
| ·BET薄膜的电滞回线结果分析 | 第48-54页 |
| ·退火温度对BET薄膜电滞回线的影响 | 第48-53页 |
| ·Eu掺杂量对BET薄膜电滞回线的影响 | 第53-54页 |
| ·Eu掺杂量对BET薄膜漏电流的影响 | 第54-55页 |
| ·Eu掺杂量对BET薄膜疲劳性能的影响 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-58页 |
| 第五章 Raman光谱法表征BET薄膜的残余应力 | 第58-70页 |
| ·Raman频移与应力分析 | 第58-60页 |
| ·外应力作用下BET(x=0.85)薄膜的Raman光谱分析 | 第60-64页 |
| ·不同退火温度的BET(x=0.85)薄膜的残余应力 | 第64-67页 |
| ·残余应力对剩余极化的影响 | 第67-68页 |
| ·Raman光谱法表征铁电薄膜残余应力中存在的问题 | 第68页 |
| ·本章小结 | 第68-70页 |
| 总结与展望 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 附录A(攻读学位期间发表论文目录) | 第79页 |
