PZT压电薄膜的改性研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| ·晶体的压电性质 | 第9-11页 |
| ·PZT薄膜的应用 | 第11-12页 |
| ·PZT薄膜的研究进展 | 第12-16页 |
| ·课题研究的意义及本文的主要研究内容 | 第16-17页 |
| 2 PZT压电薄膜的制备和表征技术 | 第17-24页 |
| ·PZT薄膜的制备技术 | 第17-18页 |
| ·溶胶-凝胶法制备PZT薄膜 | 第18-19页 |
| ·电极的制备 | 第19-21页 |
| ·衬底(底电极)的制备和清洗 | 第19-20页 |
| ·上电极的制备 | 第20-21页 |
| ·结构和形貌表征技术 | 第21-22页 |
| ·电学性质测试技术 | 第22-24页 |
| ·电压—电流性能测试 | 第22页 |
| ·铁电性能测试 | 第22页 |
| ·介电性能测试 | 第22页 |
| ·压电性能测试 | 第22-23页 |
| ·薄膜厚度的测量 | 第23-24页 |
| 3 制备和工艺对PZT薄膜性能的影响 | 第24-37页 |
| ·不同热处理温度PZT薄膜的制备 | 第24-25页 |
| ·前烘温度对薄膜微结构的影响 | 第25-30页 |
| ·热分析基础 | 第25-26页 |
| ·PZT溶胶的DSC-TG分析 | 第26-27页 |
| ·不同前烘温度PZT薄膜的XRD分析 | 第27-28页 |
| ·退火温度对PZT薄膜微结构的影响 | 第28-30页 |
| ·工艺条件对铁电性能的影响 | 第30-32页 |
| ·热处理温度对漏电流的影响 | 第32-34页 |
| ·Sol-Gel取向PZT薄膜的成膜机制 | 第34-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 4 组分对PZT薄膜微结构和电性能的影响 | 第37-50页 |
| ·不同组分薄膜的微结构分析 | 第38-41页 |
| ·表面形貌分析 | 第38页 |
| ·不同组分薄膜的结晶择优取向 | 第38-41页 |
| ·不同锆钛比对薄膜电学性能的影响 | 第41-47页 |
| ·铁电特性 | 第41-43页 |
| ·漏电流特性 | 第43-44页 |
| ·介电特性 | 第44-47页 |
| ·不同组分对薄膜压电性能的影响 | 第47-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 5 Eu掺杂对PZT薄膜微结构和电性能的影响 | 第50-60页 |
| ·Eu-PZT薄膜的制备 | 第50页 |
| ·Eu-PZT薄膜的取向性和微结构分析 | 第50-52页 |
| ·Eu掺杂对薄膜电学性能的影响 | 第52-57页 |
| ·铁电特性 | 第52-54页 |
| ·漏电流特性 | 第54-55页 |
| ·介电特性 | 第55-57页 |
| ·Eu掺杂对PZT薄膜压电性能的影响 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-60页 |
| 6 Mn掺杂对PZT薄膜微结构和电性能的影响 | 第60-71页 |
| ·Mn-PZT薄膜的制备 | 第60-61页 |
| ·Mn离子掺杂分析 | 第61-62页 |
| ·Mn的溶解度 | 第61页 |
| ·Mn离子价态 | 第61-62页 |
| ·内偏置场的影响 | 第62页 |
| ·Mn-PZT薄膜的微结构和取向性分析 | 第62-64页 |
| ·Mn掺杂对PZT薄膜电学性能的影响及其分析 | 第64-67页 |
| ·铁电特性 | 第64-65页 |
| ·漏电流特性 | 第65-66页 |
| ·介电特性 | 第66-67页 |
| ·Mn对PZT薄膜压电性能的影响 | 第67-68页 |
| ·Mn离子占位分析 | 第68-69页 |
| ·本章小结 | 第69-71页 |
| 结论 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第78页 |
