化学铸（镀）制备Ni-P合金微构件的研究
| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-18页 |
| ·MEMS 概况及发展趋势 | 第7-12页 |
| ·LIGA 技术简介 | 第12-14页 |
| ·化学镀简介 | 第14-17页 |
| ·本课题研究内容及意义 | 第17-18页 |
| 第二章 实验原理与方法 | 第18-24页 |
| ·研究路线 | 第18-19页 |
| ·试验设备 | 第19页 |
| ·试验材料 | 第19页 |
| ·化学铸（镀）Ni-P 工艺 | 第19-22页 |
| ·微构件制备工艺 | 第22页 |
| ·微观分析 | 第22页 |
| ·成分分析 | 第22-23页 |
| ·镀层硬度的测量 | 第23页 |
| ·镀层厚度的测量 | 第23-24页 |
| 第三章 化学铸（镀）工艺及相关过程分析 | 第24-42页 |
| ·温度对沉积镀层的影响 | 第24-26页 |
| ·pH 值对沉积镀层的影响 | 第26-28页 |
| ·络合剂对沉积镀层的影响 | 第28-34页 |
| ·后处理工艺的确定 | 第34-35页 |
| ·热处理对镀层的影响 | 第35-38页 |
| ·优化过程的相关分析 | 第38-39页 |
| ·镀层前期生长过程的初步研究 | 第39-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 微构件制备工艺的优化 | 第42-51页 |
| ·光刻技术简介 | 第42-44页 |
| ·工艺路线一流程及试验结果 | 第44-46页 |
| ·工艺路线二流程及试验结果 | 第46-47页 |
| ·工艺路线三流程及试验结果 | 第47-48页 |
| ·除胶工艺的探索 | 第48-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第五章 微金属(Ni-P)齿轮的制备研究 | 第51-59页 |
| ·镍基微齿轮掩模版的制备 | 第51-52页 |
| ·镍基微齿轮制备流程 | 第52-54页 |
| ·模具尺寸对镍基微齿轮精度的影响 | 第54-55页 |
| ·除胶工艺对镍基微齿轮的影响 | 第55-56页 |
| ·光刻胶种类／厚度对镍基微齿轮精度的影响 | 第56-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第六章 总结与展望 | 第59-61页 |
| ·本文总结 | 第59-60页 |
| ·展望 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 附录: | 第64-66页 |
| 图目录 | 第64-66页 |
| 攻读硕士学位论文期间的研究成果 | 第66页 |
