8×8 MOEMS光开关的准直、耦合系统设计及实验研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章:绪论 | 第7-24页 |
| ·引言 | 第7页 |
| ·光纤通信的历史和发展 | 第7-10页 |
| ·光开关在光网络中的作用及其特点 | 第10-15页 |
| ·光开关的作用 | 第10-12页 |
| ·光开关的分类及特点 | 第12-15页 |
| ·MOEMS 光开关及国内外研究状况 | 第15-21页 |
| ·MEMS 的背景及发展现状 | 第15-18页 |
| ·MOEMS 光开关的国内外研究进展 | 第18-21页 |
| ·本论文的研究意义和主要工作 | 第21-22页 |
| 参考文献 | 第22-24页 |
| 第二章:MOEMS 光开关准直、耦合系统设计 | 第24-52页 |
| ·引言 | 第24页 |
| ·光开关主要性能参数 | 第24-26页 |
| ·MOEMS 光开关光路系统设计 | 第26-40页 |
| ·单模光纤的参数特性 | 第27-30页 |
| ·光纤的模式理论 | 第30-32页 |
| ·光开关中光束的传输及单模光纤耦合理论 | 第32-37页 |
| ·光开关准直系统设计 | 第37-40页 |
| ·采用球透镜的准直系统参数计算 | 第40-47页 |
| ·球透镜耦合系统 | 第40-41页 |
| ·基模高斯光束的特征参数 | 第41-43页 |
| ·高斯光束q 参数的变换规律——ABCD 公式 | 第43-44页 |
| ·经过微球透镜的高斯光束计算及参数优化 | 第44-47页 |
| ·采用渐变折射率透镜的准直方式研究 | 第47-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-52页 |
| 第三章:MOEMS 光开关基座的设计和制作 | 第52-72页 |
| ·引言 | 第52页 |
| ·光开关基座的材料特性及相关制作工艺 | 第52-61页 |
| ·单晶硅晶格结构分析 | 第52-53页 |
| ·单晶硅的各向异性腐蚀 | 第53-58页 |
| ·其他相关工艺技术研究 | 第58-61页 |
| ·光开关自对准基座的设计 | 第61-64页 |
| ·(100)单晶硅的各向异性腐蚀特性 | 第61页 |
| ·自对准开关基座掩模版设计 | 第61-62页 |
| ·凸角损伤及凸角补偿 | 第62-64页 |
| ·开关自对准基座的制作 | 第64-68页 |
| ·制作流程 | 第64-65页 |
| ·实验结果 | 第65-68页 |
| ·分析及总结 | 第68-69页 |
| ·本章小节 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-72页 |
| 第四章 总结 | 第72-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 作者简历 | 第75-76页 |
| 攻读硕士期间发表的学术论文 | 第76-77页 |
| 硕士学位论文原创性声明 | 第77页 |
