摘要 | 第1-5页 |
Abstract | 第5-8页 |
引言 | 第8-10页 |
1 音叉驱动的近场光学扫描显微镜原理 | 第10-27页 |
·石英调音音叉的物理性质及其等效电路 | 第10-17页 |
·石英晶体的压电效应 | 第10-13页 |
·压电传感器的等效电路 | 第13-14页 |
·石英音叉的等效电路及电学分析 | 第14-15页 |
·AFM和SNOM中使用的石英音叉 | 第15-17页 |
·压电调音音叉针尖样品距离控制的理论分析 | 第17-21页 |
·振动悬臂模型 | 第17-19页 |
·调音音叉谐振振荡模型 | 第19-21页 |
·使用调音音叉的扫描显微镜的系统结构 | 第21-22页 |
·石英调音音叉构成的原子力显微镜和近场光学显微镜 | 第22-26页 |
·使用AFM尖和光纤尖的音叉驱动扫描显微镜 | 第22-24页 |
·原子力/光子扫描隧道显微镜(AF/PSTM) | 第24-26页 |
参考文献 | 第26-27页 |
2 高Q值调音音叉/光纤尖力敏感元件设计 | 第27-38页 |
·振动头的设计及模式选择 | 第27-28页 |
·高Q值力敏感元件的设计 | 第28-30页 |
·实验及所得到的结论 | 第30-35页 |
·光纤粘接点到固定点水平距离L对音叉Q值的影响 | 第30-33页 |
·共振频率与相位翻转的关系 | 第33-34页 |
·弯曲光纤尖对Q值的影响 | 第34-35页 |
·高Q值振动头的理论分析 | 第35-37页 |
参考文献 | 第37-38页 |
3 振幅反馈音叉驱动系统研究 | 第38-50页 |
·前置放大器 | 第38-39页 |
·系统设计 | 第39-46页 |
·探针 | 第39-41页 |
·音叉光纤尖振动头 | 第41-43页 |
·扫描反馈控制电路 | 第43-46页 |
·用音叉控制的AF/PSTM系统的扫描样品结果及讨论 | 第46-49页 |
参考文献 | 第49-50页 |
4 SNOM中针尖尺度对成像影响研究 | 第50-59页 |
·探针尖形状及对分辨率的影响 | 第50-52页 |
·针尖尺度对成像影响理论分析 | 第52-54页 |
·针尖直径R远小于特征曲率半径r | 第52-53页 |
·针尖曲率半径R与特征曲率半径r可比 | 第53-54页 |
·实验及结果 | 第54-57页 |
·样品的制备 | 第55-56页 |
·实验装置及扫描图像 | 第56-57页 |
参考文献 | 第57-59页 |
结论 | 第59-60页 |
攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第60-61页 |
致谢 | 第61-62页 |
大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第62页 |