| 论文摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-21页 |
| ·微机械电子系统(MEMS)概述 | 第10-12页 |
| ·微机械电子系统(MEMS)的概念及基本特征 | 第10页 |
| ·微机械电子系统(MEMS)的材料和制造技术 | 第10-12页 |
| ·射频微机械电子系统(MEMS)在无线通信领域中的应用 | 第12页 |
| ·射频微机械电子系统(MEMS)移相器概述 | 第12-20页 |
| ·射频移相器概念 | 第12-13页 |
| ·射频MEMS移相器的应用 | 第13-14页 |
| ·射频MEMS移相器原理综述 | 第14-20页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 第二章 MEMS移相器的微波理论基础 | 第21-33页 |
| ·引言 | 第21页 |
| ·微波理论基础 | 第21-27页 |
| ·微波传输线理论 | 第21-23页 |
| ·共平面波导传输线(Coplanar Waveguide) | 第23-25页 |
| ·微波两端口网络及散射参数 | 第25-27页 |
| ·电容式MEMS开关理论 | 第27-29页 |
| ·开关线型MEMS移相器理论 | 第29-30页 |
| ·加载线型MEMS移相器理论 | 第30-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 并联接触式RF MEMS开关 | 第33-48页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·并联接触式MEMS开关的设计 | 第33-45页 |
| ·并联接触式MEMS开关的基本结构及原理 | 第33-34页 |
| ·并联接触式MEMS开关的下拉电压分析及优化 | 第34-45页 |
| ·并联接触式MEMS开关的测试分析 | 第45-47页 |
| ·并联接触式MEMS开关的下拉电压测试 | 第45-47页 |
| ·并联接触式MEMS开关的微波特性测试 | 第47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 开关线型RF MEMS移相器 | 第48-60页 |
| ·引言 | 第48页 |
| ·开关线型MEMS移相器的设计 | 第48-54页 |
| ·开关线型MEMS移相器的设计原理 | 第48-49页 |
| ·开关线型MEMS移相器的设计基础 | 第49-52页 |
| ·开关线型MEMS移相器的版图设计 | 第52-54页 |
| ·开关线型MEMS移相器的制备 | 第54-57页 |
| ·开关线型MEMS移相器的制备工艺 | 第54-55页 |
| ·开关线型MEMS移相器的工艺流程简图 | 第55-56页 |
| ·开关线型MEMS移相器的制备工艺讨论 | 第56-57页 |
| ·开关线型MEMS移相器的测试 | 第57-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 加载线型MEMS移相器的分析设计 | 第60-66页 |
| ·引言 | 第60页 |
| ·加载线型MEMS移相器的设计优化 | 第60-64页 |
| ·加载线型MEMS移相器低损耗设计 | 第60-63页 |
| ·加载线型MEMS移相器的低电压设计及优化 | 第63-64页 |
| ·加载线型MEMS移相器的测试分析 | 第64-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第六章 结论 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 在读期间发表论文 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72页 |