| 第一章 绪论 | 第1-18页 |
| §1．1 无线通信射频前端电路的应用和发展 | 第7页 |
| §1．2 射频前端系统的双工方式 | 第7-9页 |
| §1．3 射频带通滤波器 | 第9-11页 |
| §1．4 FBAR薄膜谐振器的研究现状 | 第11-13页 |
| §1．4．1 FBAR薄膜谐振器研究历史 | 第11-12页 |
| §1．4．2 FBAR滤波器与其它滤波器的性能比较 | 第12页 |
| §1．4．3 FBAR滤波器前景分析 | 第12-13页 |
| §1．5 压电薄膜研究现状 | 第13-16页 |
| §1．6 本文的结构及主要工作 | 第16-18页 |
| 第二章 压电振子及其等效电路 | 第18-43页 |
| §2．1 压电薄膜理论 | 第18-28页 |
| §2．1．1 概述 | 第18页 |
| §2．1．2 晶体的介电性能 | 第18-21页 |
| §2．1．3 晶体的弹性性质 | 第21-23页 |
| §2．1．4 晶体的压电性质 | 第23-25页 |
| §2．1．5 压电薄膜的电学性质 | 第25-28页 |
| 2．1．5．1 介电常数 | 第25-26页 |
| 2．1．5．2 体积电阻率 | 第26页 |
| 2．1．5．3 损耗角正切 | 第26页 |
| 2．1．5．4 体声波性能 | 第26-28页 |
| §2．2 压电振子及等效电学模型 | 第28-41页 |
| §2．2．1 压电振子 | 第28-29页 |
| §2．2．2 横向振动 | 第29-33页 |
| §2．2．3 纵向振动 | 第33-36页 |
| §2．2．4 压电振子BVD模型 | 第36-41页 |
| §2．3 本章小结 | 第41-43页 |
| 第三章 FBAR的结构与制备 | 第43-54页 |
| §3．1 FBAR谐振器的结构及工作原理 | 第43-47页 |
| §3．1．1 FBAR谐振器的电极 | 第44页 |
| §3．1．2 FBAR谐振器的压电层及制备 | 第44-45页 |
| §3．1．3 FBAR谐振器的声波反射面 | 第45-47页 |
| §3．2 FBAR谐振器的制备过程 | 第47-49页 |
| §3．3 二次微扰法测AIN薄膜的介电常数 | 第49-53页 |
| §3．4 本章小结 | 第53-54页 |
| 第四章 单个FBAR建模 | 第54-82页 |
| §4．1 概述 | 第54页 |
| §4．2 理想FBAR谐振器 | 第54-63页 |
| §4．2．1 理想FBAR谐振器阻抗表达式 | 第54-60页 |
| §4．2．2 理想FBAR谐振器阻抗特性 | 第60-63页 |
| §4．3 复合结构的FBAR谐振器 | 第63-67页 |
| §4．4 考虑声学损耗的FBAR谐振器阻抗表达式 | 第67-70页 |
| §4．5 FBAR谐振器的BVD模型 | 第70-79页 |
| §4．5．1 普通BVD模型 | 第70-73页 |
| §4．5．2 MBVD模型 | 第73-79页 |
| §4．6 FBAR谐振器的性能系数 | 第79-81页 |
| §4．6．1 有效机电耦合系数 | 第79页 |
| §4．6．2 品质因子 | 第79-81页 |
| §4．7 本章小结 | 第81-82页 |
| 第五章 FBAR滤波器建模 | 第82-91页 |
| §5．1 概述 | 第82页 |
| §5．2 用FBAR谐振器构建滤波器 | 第82-90页 |
| §5．2．1 FBAR谐振器构建滤波器的基本原理 | 第82-85页 |
| §5．2．2 FBAR谐振器构建滤波器 | 第85-90页 |
| §5．3 本章小结 | 第90-91页 |
| 第六章 结束语 | 第91-93页 |
| 参考文献 | 第93-96页 |
| 致谢 | 第96页 |