| 第一篇 文献综述及学位论文工作的确定 | 第1-33页 |
| 第一章 文献综述 | 第11-29页 |
| ·新型电子薄膜材料简介 | 第11-17页 |
| ·薄膜的定义、分类及特殊性 | 第11-16页 |
| ·薄膜材料的研究现状 | 第16页 |
| ·新型薄膜材料发展前景 | 第16-17页 |
| ·钛酸钡系薄膜材料简介 | 第17-29页 |
| ·制备方法 | 第17-24页 |
| ·性能及应用 | 第24-27页 |
| ·发展方向 | 第27-29页 |
| 第二章 学位论文工作的确定 | 第29-33页 |
| ·选题依据 | 第29页 |
| ·实验方案 | 第29-33页 |
| ·实验内容 | 第29-30页 |
| ·表征与测试方法 | 第30-33页 |
| 第二篇 钛酸钡薄膜的制备与表征 | 第33-73页 |
| 第三章 溶胶的合成 | 第33-51页 |
| ·溶胶的合成 | 第33页 |
| ·试剂规格 | 第33页 |
| ·实验步骤 | 第33页 |
| ·考察内容 | 第33-49页 |
| ·溶剂的选择 | 第33-41页 |
| ·稳定性比较 | 第34页 |
| ·表面张力比较 | 第34-38页 |
| ·差热-热重比较 | 第38-39页 |
| ·XRD比较 | 第39-40页 |
| ·SEM比较 | 第40页 |
| ·结论 | 第40-41页 |
| ·加水量的影响 | 第41-43页 |
| ·稳定性比较 | 第41-42页 |
| ·SEM比较 | 第42-43页 |
| ·加醋酸量的影响 | 第43-45页 |
| ·稳定性比较 | 第43-44页 |
| ·SEM比较 | 第44-45页 |
| ·螯合剂的影响 | 第45-48页 |
| ·稳定性比较 | 第46页 |
| ·SEM比较 | 第46-48页 |
| ·溶胶的浓度对溶胶稳定性及微观形貌的影响 | 第48-49页 |
| ·稳定性比较 | 第48页 |
| ·SEM比较 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 第四章 钛酸钡薄膜的制备与表征 | 第51-63页 |
| ·钛酸钡薄膜的制备 | 第51-52页 |
| ·试剂规格 | 第51页 |
| ·实验步骤 | 第51页 |
| ·单晶硅的预处理 | 第51-52页 |
| ·钛酸钡薄膜的表征 | 第52-63页 |
| ·干凝胶的DTA-TGA分析与热处理温度的确定 | 第52页 |
| ·干凝胶的红外谱图分析 | 第52-54页 |
| ·XRD分析 | 第54-55页 |
| ·不同退火温度粉末的XRD分析 | 第54-55页 |
| ·不同退火时间粉末的XRD分析 | 第55页 |
| ·钛酸钡表面形貌分析 | 第55-61页 |
| ·不同陈化时间对薄膜表面的影响 | 第55-56页 |
| ·不同干燥方法对薄膜表面的影响 | 第56-58页 |
| ·不同退火温度簿膜的表面形貌 | 第58-59页 |
| ·不同退火时间簿膜的表面形貌 | 第59-61页 |
| ·本章小结 | 第61-63页 |
| 第五章 钛酸锶钡(Ba_(1-x)Sr_xTiO_3)薄膜的制备及表征 | 第63-71页 |
| ·Ba_(1-x)Sr_xTiO_3的制备 | 第63页 |
| ·试剂规格 | 第63页 |
| ·实验步骤 | 第63页 |
| ·Ba_(1-x)Sr_xTiO_3的表征 | 第63-70页 |
| ·组成为Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3干凝胶TGA-DTA分析 | 第63-65页 |
| ·组成为Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3的IR分析 | 第65-66页 |
| ·Ba_(1-x)Sr_xTiO_3的XRD分析 | 第66-69页 |
| ·不同退火温度的XRD图谱 | 第66-67页 |
| ·不同退火时间的XRD图谱 | 第67页 |
| ·不同掺锶量的XRD图谱 | 第67-69页 |
| ·钛酸锶钡薄膜的SPM分析 | 第69页 |
| ·掺杂对钛酸钡薄膜表面形貌的影响 | 第69-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 第六章 总结 | 第71-73页 |
| ·论文主要工作 | 第71-72页 |
| ·对今后工作的几点意见 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-78页 |
| 致谢 | 第78页 |
