| 中文摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-16页 |
| 1．1 GeSi异质结材料 | 第8-11页 |
| 1．2 GeSi HBT的工作原理和特点 | 第11-12页 |
| 1．3 SiGe HBT的发展状况 | 第12-14页 |
| 1．4 GeSi HBT的可靠性 | 第14-15页 |
| 1．5 本论文的主要工作 | 第15-16页 |
| 第二章 GeSi HBT设计与制作、可靠性实验系统 | 第16-23页 |
| 2．1 高稳定性和高可靠性SiGe HBT的制作 | 第16-19页 |
| 2．2 GeSi HBT器件可靠性实验系统 | 第19-21页 |
| 2．3 本章小结 | 第21-23页 |
| 第三章 GeSi HBT可靠性实验 | 第23-44页 |
| 3．1 热载流子种类的划分 | 第24-26页 |
| 3．2 热应力及热电效应 | 第26-27页 |
| 3．3 各种应力条件下的实验结果 | 第27-43页 |
| 3．4 本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 GeSi HBT退化模型和负阻现象分析 | 第44-51页 |
| 4．1 GeSi HBT的退化模型 | 第44-45页 |
| 4．2 GeSi HBT的负阻现象的分析 | 第45-49页 |
| 4．3 本章小结 | 第49-51页 |
| 结论和总结 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-55页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56页 |