| 第一章 引言 | 第1-12页 |
| 第二章 非球面轮廓测量仪的工作原理 | 第12-16页 |
| 1 、 非球面的表达公式 | 第12页 |
| 2 、 小型非球面轮廓测量仪工作方式 | 第12-13页 |
| (1) 小型非球面轮廓测量仪的测量目标 | 第13页 |
| (2) 小型非球面轮廓测量仪的工作方式 | 第13页 |
| 3 、 小型非球面轮廓仪的数学模型 | 第13-16页 |
| 第三章 仪器精度分析 | 第16-30页 |
| 1 、 测量表的精度 | 第16页 |
| 2 、 数学模型的误差 | 第16-17页 |
| 3 、 测头偏离被测非球面子午截线产生的误差和减小误差的方法 | 第17-23页 |
| (1) 偏心距Δl对各类二次曲面的影响 | 第18-19页 |
| (2) 偏心距产生的误差及调整 | 第19-21页 |
| (3) 偏心距Δl测定的实验验证 | 第21-22页 |
| (4) 测量杆不竖直引起的误差和调整 | 第22-23页 |
| 4 、 机械传动的误差研究和解却方法 | 第23-25页 |
| 5 、 夹具平台及装卡倾斜和测量系对称轴偏移引起的误差分析和减小误差的方法分析 | 第25-30页 |
| (1) 消除倾斜对测量精度影响的方法 | 第26-27页 |
| (2) 分析测量系对称轴偏心对测量精度的影响以及减小误差的方法 | 第27-28页 |
| (3) 调整测量系统对称轴与被测工件对称轴重合 | 第28-30页 |
| 第四章 小型非球面轮廓测量仪及其测量软件界面 | 第30-31页 |
| 第五章 小型非球面轮廓测量仪精度的标定 | 第31-34页 |
| 1 、 利用zygo干涉仪对轮廓仪进行精度标定 | 第31-32页 |
| 2 、 利用标准样板球面对非球面轮廓仪精度的标定 | 第32-34页 |
| 第六章 小型非球面轮廓测量仪的测量实验、实际应用以及结果分析 | 第34-48页 |
| 1 、 小型非球面轮廓测量仪用于检测、反馈铣磨误差的实验 | 第34-36页 |
| 2 、 小型非球面轮廓测量仪用于检测未知方程的非球面，并得到被测非球面方程的实验 | 第36-38页 |
| 3 、 轮廓仪直接用于中、低精度光学元件的最终检测的实验 | 第38-41页 |
| 4 、 轮廓仪用于检测非轴对称光学元件的实验 | 第41-46页 |
| (1) 渐变多焦点镜片简介及测量方法 | 第41-43页 |
| (2) 实验与测量结果 | 第43-45页 |
| (3) 测量结果分析 | 第45-46页 |
| 5 、 小型非球面轮廓测量仪在实际生产中的应用 | 第46-48页 |
| 结束语 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-51页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文情况 | 第51-52页 |
| 附录 | 第52-66页 |
| 致谢 | 第66页 |
