| 第一章 文献综述 | 第1-20页 |
| 1．1 绪言 | 第7-8页 |
| 1．2 SiO_2光导膜的制备技术 | 第8-10页 |
| 1．3 Sol-gel法制备光导膜及其研究进展 | 第10-18页 |
| 1．3．1 光导膜的Sol-gel法制备 | 第10-13页 |
| 1．3．2 性能及影响因素 | 第13-18页 |
| 1．4 结论 | 第18-20页 |
| 第二章 实验方法 | 第20-25页 |
| 2．1 绪言 | 第20页 |
| 2．2 研究思路 | 第20-21页 |
| 2．3 实验设备及实验方法 | 第21-25页 |
| 第三章 无机SIO2光导膜 | 第25-36页 |
| 3．1 绪言 | 第25-26页 |
| 3．2 DCCA缓解膜开裂的实验原理 | 第26-28页 |
| 3．3 实验方法 | 第28-30页 |
| 3．3．1 实验过程 | 第28-29页 |
| 3．3．2 实验试剂及溶胶配制 | 第29-30页 |
| 3．4 实验结果与分析 | 第30-35页 |
| 3．4．1 溶胶的稳定性 | 第30-31页 |
| 3．4．2 膜厚 | 第31-33页 |
| 3．4．3 红外光谱分析 | 第33-34页 |
| 3．4．4 紫外可见光透过率 | 第34-35页 |
| 3．5 结论 | 第35-36页 |
| 第四章 有机无机复合SIO_2／AL_2O_3光导膜 | 第36-63页 |
| 4．1 绪言 | 第36-37页 |
| 4．2 实验方法 | 第37-40页 |
| 4．2．1 实验过程 | 第37-38页 |
| 4．2．2 实验试剂及溶胶配制 | 第38-40页 |
| 4．2．3 凝胶膜的微细加工过程 | 第40页 |
| 4．3 实验结果与分析 | 第40-62页 |
| 4．3．1 溶胶形成中化学反应过程分析 | 第40-46页 |
| 4．3．2 SiO_2／Al_2O_3凝胶膜的光照及热处理 | 第46-50页 |
| 4．3．3 SiO_2／Al_2O_3膜微细图形 | 第50-52页 |
| 4．3．4 SiO_2／Al_2O_3膜厚度 | 第52-54页 |
| 4．3．5 SiO_2／Al_2O_3膜的透过率和折射率 | 第54-59页 |
| 4．3．6 Al_2O_3含量对SiO_2／Al_2O_3膜的影响 | 第59-62页 |
| 4．4 结论 | 第62-63页 |
| 第五章 激光干涉法制作薄膜光栅 | 第63-70页 |
| 5．1 绪言 | 第63页 |
| 5．2 实验方法 | 第63-66页 |
| 5．2．1 溶胶及凝胶膜的制备 | 第63-64页 |
| 5．2．2 高密度光栅制作原理及光路布置 | 第64-66页 |
| 5．3 实验结果及分析 | 第66-68页 |
| 5．4 激光干涉法制作薄膜光栅中的几个问题 | 第68-69页 |
| 5．5 结论 | 第69-70页 |
| 6 结论 | 第70-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-78页 |
| 作者在硕士期间撰写和发表的论文 | 第78页 |
