| 中文摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 偏振光与椭偏仪介绍 | 第9-27页 |
| ·光波的基本性质 | 第9-10页 |
| ·光波与电磁波 | 第9页 |
| ·反射定律、折射定律和菲涅耳公式 | 第9-10页 |
| ·金属对光的反射和折射 | 第10-12页 |
| ·光的偏振性与偏振态 | 第12-14页 |
| ·椭圆偏振光谱仪简介 | 第14-24页 |
| ·椭圆偏振光谱仪的理论基础 | 第14-17页 |
| ·色散与K-K关系 | 第17-19页 |
| ·光学常数与介电常数 | 第19-21页 |
| ·模型的选择与均方根误差(MSE) | 第21-24页 |
| ·椭圆偏振光谱仪的特点 | 第24-25页 |
| ·椭圆偏振光谱仪的应用 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第二章 溅射法制备α-Co薄膜及其特性研究 | 第27-38页 |
| ·引言 | 第27页 |
| ·Co薄膜的制备 | 第27-28页 |
| ·实验材料与仪器 | 第27页 |
| ·薄膜的制备 | 第27-28页 |
| ·XRD结构分析 | 第28-29页 |
| ·椭偏仪测量与拟合 | 第29-36页 |
| ·Co30、Co50样品当做块状材料处理 | 第29页 |
| ·Co10、Co20样品,单个样品同时拟合膜厚和光学常数 | 第29-30页 |
| ·Co10、Co20样品采用多样品法 | 第30-31页 |
| ·Co10、Co20样品采用振荡模型 | 第31-33页 |
| ·Co膜的光学常数及复介电函数 | 第33-36页 |
| ·SEM断面分析 | 第36-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第三章 纳米TiO_2薄膜的制备与性能的研究 | 第38-46页 |
| ·引言 | 第38页 |
| ·TiO_2薄膜的制备 | 第38页 |
| ·XRD结构分析 | 第38-39页 |
| ·椭偏仪测量与拟合 | 第39-44页 |
| ·TiO_2薄膜采用柯西指数模型 | 第39-42页 |
| ·TiO_2薄膜的光学常数和复介电函数 | 第42-44页 |
| ·SEM断面分析 | 第44页 |
| ·本章小结 | 第44-46页 |
| 第四章 溅射法制备ZnO薄膜及其特性研究 | 第46-53页 |
| ·引言 | 第46页 |
| ·ZnO薄膜的制备 | 第46页 |
| ·XRD结构分析 | 第46-47页 |
| ·椭圆偏振光谱测量与拟合 | 第47-51页 |
| ·ZnO薄膜采用柯西指数模型 | 第47-48页 |
| ·ZnO薄膜的光学常数及复介电函数 | 第48-51页 |
| ·SEM断面分析 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第五章 结论及展望 | 第53-55页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-58页 |
| 致谢 | 第58页 |