| 提要 | 第1-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-19页 |
| ·引言 | 第7-8页 |
| ·国内外研究状况 | 第8-18页 |
| ·国外研究状况 | 第8-16页 |
| ·国内研究状况 | 第16-18页 |
| ·本文的主要研究工作 | 第18-19页 |
| 第二章 纳米力学性能测试方法及原理 | 第19-31页 |
| ·纳米压痕法及其原理 | 第19-28页 |
| ·纳米压痕（Nano-indentation）法的特点 | 第19-20页 |
| ·纳米压痕试验 | 第20-21页 |
| ·纳米压痕的经典力学方法（Oliver 和Pharr 方法） | 第21-26页 |
| ·连续刚度测量 | 第26-28页 |
| ·单轴拉伸实验的原理及特点 | 第28页 |
| ·压电叠堆简介 | 第28-31页 |
| ·压电叠堆的工作原理 | 第28-29页 |
| ·压电叠堆的基本特性 | 第29-31页 |
| 第三章 微纳米压痕装置的设计及分析 | 第31-52页 |
| ·微纳米压痕装置的设计 | 第31-33页 |
| ·压痕装置的整体结构 | 第31-32页 |
| ·压痕装置的工作原理 | 第32-33页 |
| ·压痕装置的线切割加工 | 第33页 |
| ·柔性铰链的理论分析 | 第33-43页 |
| ·柔性铰链概述 | 第34页 |
| ·柔性铰链机构的特点 | 第34-35页 |
| ·柔性铰链的选择 | 第35-36页 |
| ·柔性铰链的刚度计算 | 第36-42页 |
| ·柔性铰链的有限元分析 | 第42-43页 |
| ·微纳米压痕装置各部分结构分析 | 第43-52页 |
| ·预紧机构的分析 | 第43-44页 |
| ·传动机构动力学模型分析 | 第44-47页 |
| ·传动用柔性铰链的固有频率 | 第47页 |
| ·传动机构柔性铰链的有限元分析 | 第47-50页 |
| ·压入测试机构有限元分析 | 第50-52页 |
| 第四章 压痕装置性能测试及实验分析 | 第52-67页 |
| ·实验测试仪器及实验系统介绍 | 第52-55页 |
| ·压电陶瓷驱动电源 | 第52-54页 |
| ·LK-G10 激光测微仪 | 第54-55页 |
| ·压痕装置的标定及输出特性测试 | 第55-64页 |
| ·标定实验准备工作 | 第55-56页 |
| ·标定实验过程 | 第56-61页 |
| ·压痕装置的输出特性测试 | 第61-63页 |
| ·影响实验测试结果的因素分析 | 第63-64页 |
| ·压痕实验 | 第64-67页 |
| 第五章 微纳米拉伸装置的设计研究 | 第67-75页 |
| ·微纳米拉伸装置的结构 | 第67-71页 |
| ·拉伸装置的组成及工作方式 | 第67-68页 |
| ·拉伸装置基体的有限元分析 | 第68-71页 |
| ·拉伸装置输出性能的实验 | 第71-75页 |
| 第六章 结论与展望 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-81页 |
| 摘要 | 第81-83页 |
| ABSTRACT | 第83-86页 |
| 致谢 | 第86页 |