超导磁通量子比特电路的电子束蒸发制备及其参数设计

摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
第一章 引言	第9-14页
·量子计算机	第9-10页
·超导量子比特	第10-11页
·超导量子干涉仪(SQUID)	第11-14页
第二章 超导量子比特	第14-26页
·约瑟夫森结	第14-18页
·约瑟夫森效应	第14-15页
·SM模型	第15-16页
·约瑟夫森结的I-V曲线	第16-18页
·超导量子比特和超导量子干涉器(SQUID)	第18-26页
·超导电性	第18-20页
·超导量子比特	第20-22页
·超导量子干涉器(SQUID)	第22-26页
第三章 电子束蒸发系统	第26-52页
·电子束蒸发的主要原理和特点	第26-27页
·电子束蒸发系统结构	第27-31页
·真空系统	第28-29页
·蒸发系统	第29-30页
·辅助设备	第30-31页
·操作与调试	第31-38页
·设计改进与工艺参数优化	第38-45页
·存在问题和解决方法	第45-52页
第四章 超导磁通量子比特电路的参数设计	第52-66页
·磁通量子比特电路设计原理	第52页
·超导磁通量子比特电路的结构设计	第52-57页
·RF-SQUID	第52-54页
·DC-SQUID	第54-56页
·超导磁通量子比特的电路框图	第56-57页
·超导磁通量子比特电路的参数设计	第57-63页
·双势阱的主要参量	第57-58页
·能级数量及其相关参数	第58-60页
·I_C和电感的理论值计算	第60-61页
·电感的仿真值计算	第61-63页
·版图设计	第63-66页
第五章 总结	第66-68页
参考文献	第68-71页
硕士期间研究成果	第71-72页
致谢	第72-73页