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有机静电感应晶体管的制作及特性研究

摘要第1-6页
Abstract第6-10页
第1章 绪论第10-20页
   ·本课题研究的背景及意义第10-11页
   ·国内外相关领域的研究概况第11-18页
     ·有机半导体材料的研究进展第11-13页
     ·有机器件的研究进展第13-18页
   ·待深入研究的问题第18-19页
   ·课题来源和主要研究内容第19-20页
第2章 有机半导体材料及有机晶体管第20-38页
   ·有机半导体材料第20-29页
     ·有机半导体材料简介第20-27页
     ·有机半导体材料导电机制的研究第27-29页
   ·有机晶体管第29-36页
     ·有机场效应晶体管第29-33页
     ·有机静电感应晶体管第33-35页
     ·有机器件的制备方法第35-36页
     ·有机晶体管器件在发展中面临的主要问题第36页
   ·本章小结第36-38页
第3章 有机静电感应晶体管样品的制作第38-46页
   ·材料体系的选择第38-39页
   ·制作设备第39-43页
     ·直流溅射装置第39-41页
     ·有机蒸镀装置第41-43页
   ·酞菁铜有机静电感应晶体管的制作第43-45页
   ·试制成功的样品第45页
   ·本章小结第45-46页
第4章 有机静电感应晶体管样品的测试分析第46-53页
   ·样品的测试分析第46页
   ·单侧肖特基分析第46-47页
   ·静电感应晶体管的静态特性分析第47-51页
   ·酞菁铜薄膜对器件性能的影响第51-52页
     ·有机半导体材料薄膜的生长行为第51-52页
     ·酞菁铜薄膜形成工艺第52页
   ·本章小结第52-53页
结论第53-54页
参考文献第54-59页
攻读硕士学位期间发表的学术论文第59-60页
致谢第60页

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