原子力显微镜碳纳米管探针的制备工艺研究

中文摘要	第1-4页
ABSTRACT	第4-6页
第一章 绪论	第6-18页
·课题的来源和意义	第6-7页
·碳纳米管技术的发展现状	第7-10页
·原子力显微镜技术的发展现状	第10-14页
·碳纳米管原子力显微镜探针简介	第14-17页
·论文研究内容	第17-18页
第二章 实验系统及其原理介绍	第18-28页
·聚焦离子束双束系统介绍	第18-20页
·纳米显微操纵仪介绍	第20-22页
·聚焦离子束与电子束的成像和加工原理介绍	第22-28页
第三章 碳纳米管探针的制备及工艺研究	第28-51页
·钨针尖腐蚀工艺研究	第28-35页
·实验原理介绍	第28-30页
·钨针尖的制备及分析	第30-35页
·结论	第35页
·铂沉积粘接工艺研究	第35-42页
·实验设计原理	第35-36页
·数据及分析	第36-42页
·结论	第42页
·碳纳米管原子力显微镜探针针尖的制备	第42-51页
·铂沉积粘接碳纳米管	第42-48页
·碳纳米管针尖长度优化	第48-49页
·碳纳米管针尖角度优化	第49-51页
第四章 结论与展望	第51-53页
参考文献	第53-57页
发表论文和科研情况说明	第57-58页
致谢	第58页