| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-25页 |
| ·课题背景及研究意义 | 第9-10页 |
| ·薄膜导热研究的现状 | 第10-11页 |
| ·薄膜导热研究的实验测试方法 | 第11-21页 |
| ·薄膜导热研究的分子动力学模拟方法 | 第21-23页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第23-25页 |
| 2 瞬态热反射的实验原理和测试系统 | 第25-37页 |
| ·传热模型分析 | 第25-28页 |
| ·数据处理方法 | 第28-30页 |
| ·测试系统的组成 | 第30-33页 |
| ·测试参数的优化 | 第33-36页 |
| ·测试信号的获取 | 第36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 3 薄膜导热系数的实验测量 | 第37-78页 |
| ·电介质薄膜SiO_2、Al_2O_3、Si_3N_4 | 第37-52页 |
| ·SiO_2薄膜 | 第37-42页 |
| ·Al_2O_3薄膜 | 第42-46页 |
| ·Si_3N_4薄膜 | 第46-52页 |
| ·DLC薄膜 | 第52-59页 |
| ·DLC膜制备及结构表征 | 第52-56页 |
| ·DLC膜导热系数的测量 | 第56-57页 |
| ·对测试结果的分析与讨论 | 第57-59页 |
| ·相变存储器薄膜 | 第59-77页 |
| ·Ta_2O_5掺杂的Ge_2Sb_2Te_5薄膜 | 第59-68页 |
| ·N掺杂的Sb_2Te_3薄膜 | 第68-77页 |
| ·本章小结 | 第77-78页 |
| 4 薄膜导热系数的分子动力学模拟 | 第78-98页 |
| ·非平衡分子动力学模拟方法 | 第78-82页 |
| ·非晶碳薄膜导热系数的分子动力学模拟 | 第82-91页 |
| ·非晶碳薄膜的结构和势函数 | 第82-84页 |
| ·初始平衡过程的建立 | 第84页 |
| ·稳态非平衡过程的建立 | 第84-87页 |
| ·模拟结果 | 第87-91页 |
| ·金刚石薄膜导热系数的分子动力学模拟 | 第91-97页 |
| ·金刚石薄膜的结构和势函数 | 第91-92页 |
| ·模拟过程 | 第92-93页 |
| ·模拟结果 | 第93-97页 |
| ·本章小结 | 第97-98页 |
| 5 薄膜导热的微尺度效应分析 | 第98-109页 |
| ·微尺度导热的判据 | 第98-99页 |
| ·薄膜导热的理论分析方法 | 第99-103页 |
| ·声子气动理论 | 第99-100页 |
| ·玻尔兹曼输运理论 | 第100-102页 |
| ·最小导热系数理论 | 第102-103页 |
| ·微结构和界面热阻对薄膜导热的影响 | 第103-108页 |
| ·微结构的影响 | 第104-106页 |
| ·界面热阻的影响 | 第106-108页 |
| ·本章小结 | 第108-109页 |
| 结论 | 第109-111页 |
| 创新点摘要 | 第111-112页 |
| 参考文献 | 第112-125页 |
| 攻读博士学位期间发表学术论文情况 | 第125-126页 |
| 致谢 | 第126-127页 |
| 作者简介 | 第127-129页 |