| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 1 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 研究背景 | 第9-11页 |
| 1.1.1 MEMS技术的发展 | 第9-10页 |
| 1.1.2 MEMS技术在火工品安保机构中的应用 | 第10-11页 |
| 1.2 MEMS安保机构的研究现状 | 第11-18页 |
| 1.2.1 国外MEMS安保机构发展进程 | 第11-12页 |
| 1.2.2 几种典型国外MEMS安保机构 | 第12-15页 |
| 1.2.3 国内MEMS安保机构发展 | 第15-18页 |
| 1.3 本论文研究内容 | 第18-19页 |
| 2 基于PyroMEMS安保机构的传火序列结构设计 | 第19-34页 |
| 2.1 传火序列设计原理 | 第19-20页 |
| 2.2 SCB换能元传火序列结构设计 | 第20-26页 |
| 2.2.1 点火电路层结构设计 | 第20-22页 |
| 2.2.2 输入装药层与输出装药层结构设计 | 第22-23页 |
| 2.2.3 PyroMEMS安保机构层结构设计 | 第23-25页 |
| 2.2.4 SCB换能元传火序列作动原理 | 第25-26页 |
| 2.3 LTCC传火序列结构设计 | 第26-32页 |
| 2.3.1 LTCC底座结构设计 | 第30-31页 |
| 2.3.2 点火电阻换能元设计 | 第31-32页 |
| 2.3.3 LTCC传火序列作动原理 | 第32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-34页 |
| 3 基于PyroMEMS安保机构的传火序列的制备 | 第34-46页 |
| 3.1 传火序列制备材料选择 | 第34-37页 |
| 3.1.1 点火电路层、安保机构层材料选择 | 第34-35页 |
| 3.1.2 输入装药层、弹性梁以及输出装药层材料选择 | 第35-36页 |
| 3.1.3 LTCC底座材料选择 | 第36-37页 |
| 3.2 传火序列的制备 | 第37-45页 |
| 3.2.1 点火电路层制备 | 第37-39页 |
| 3.2.2 PyroMEMS安保机构层制备 | 第39-40页 |
| 3.2.3 LTCC底座以及LTCC小型点火器制备 | 第40-44页 |
| 3.2.4 输入装药层、输出装药层以及弹性梁的制备 | 第44-45页 |
| 3.3 本章小结 | 第45-46页 |
| 4 基于PyroMEMS安保机构的传火序列作动性能实验 | 第46-64页 |
| 4.1 传火序列点火实验 | 第46-59页 |
| 4.1.1 SCB、MSCB以及RuO_2电阻的发火性能测试 | 第46-50页 |
| 4.1.2 产气药药量数学模型的建立 | 第50-53页 |
| 4.1.3 传火序列药剂选择 | 第53-55页 |
| 4.1.4 点火实验 | 第55-59页 |
| 4.2 传火序列传火实验 | 第59-63页 |
| 4.2.1 PyroMEMS安保机构层解除保险实验 | 第59-61页 |
| 4.2.2 传火实验 | 第61-63页 |
| 4.3 本章小结 | 第63-64页 |
| 5 结论 | 第64-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 附录 | 第71页 |
