摘要 | 第4-5页 |
Abstract | 第5-6页 |
第1章 绪论 | 第9-16页 |
1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第9-10页 |
1.2 高速精密运动平台发展现状 | 第10-12页 |
1.3 误差传递模型的国内外研究现状 | 第12-13页 |
1.4 误差灵敏度分析的国内外研究现状 | 第13-15页 |
1.5 本文的主要研究内容 | 第15-16页 |
第2章 高速可变狭缝系统设计与误差传递模型 | 第16-40页 |
2.1 引言 | 第16页 |
2.2 高速可变狭缝系统设计 | 第16-21页 |
2.2.1 高速可变狭缝系统机械结构设计 | 第17-19页 |
2.2.2 高速可变狭缝系统系统振动性能分析 | 第19-21页 |
2.3 高速可变狭缝系统误差传递模型的建立 | 第21-32页 |
2.3.1 基于多体理论的高速可变狭缝系统拓扑结构 | 第21-22页 |
2.3.2 基于齐次转换矩阵的位姿变换 | 第22-23页 |
2.3.3 误差传递模型的建立 | 第23-32页 |
2.4 各局部误差对整体误差影响分析 | 第32-39页 |
2.5 本章小结 | 第39-40页 |
第3章 刀片位移误差来源分析 | 第40-51页 |
3.1 引言 | 第40页 |
3.2 光栅尺引入的误差分析 | 第40-43页 |
3.2.1 光栅尺装配引入的误差分析 | 第41-42页 |
3.2.2 光栅尺受温度影响导致变形引入的误差分析 | 第42页 |
3.2.3 光栅尺刻划误差分析 | 第42-43页 |
3.3 测量系统外引入的误差分析 | 第43-50页 |
3.3.1 主动气浮轴安装引入的误差分析 | 第43-45页 |
3.3.2 气浮滑块引入的误差分析 | 第45-49页 |
3.3.3 温度变形引起的滑块误差分析 | 第49-50页 |
3.4 本章小结 | 第50-51页 |
第4章 高速可变狭缝系统动态误差分析 | 第51-59页 |
4.1 引言 | 第51页 |
4.2 部件结构动态误差分析 | 第51-54页 |
4.2.1 部件变形引起的动态误差分析 | 第51-53页 |
4.2.2 部件振动引起的动态误差分析 | 第53-54页 |
4.3 气浮导轨引起的动态误差分析 | 第54-58页 |
4.4 本章小结 | 第58-59页 |
第5章 动态特性实验与不确定度合成 | 第59-69页 |
5.1 引言 | 第59页 |
5.2 高速可变狭缝系统刀片动态特性实验及结果分析 | 第59-61页 |
5.3 高速可变狭缝系统刀片位移测量不确定度评估 | 第61-68页 |
5.3.1 不确定度评定的数学模型 | 第62-63页 |
5.3.2 不确定度分量分析与总结 | 第63-67页 |
5.3.3 刀片位移测量结果不确定度合成 | 第67-68页 |
5.4 本章小结 | 第68-69页 |
结论 | 第69-71页 |
参考文献 | 第71-75页 |
攻读硕士期间发表的论文及其他成果 | 第75-77页 |
致谢 | 第77-78页 |