| 前言 | 第3-5页 |
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第13-33页 |
| 1.1 铁电、压电材料研究进展 | 第13-14页 |
| 1.2 铁电、压电功能材料的特性 | 第14-18页 |
| 1.2.1 铁电材料的特性 | 第14-16页 |
| 1.2.2 压电材料的特性 | 第16-18页 |
| 1.3 钙钛矿结构薄膜材料的掺杂改性研究 | 第18-20页 |
| 1.4 薄膜的制备方法 | 第20-21页 |
| 1.5 Bi(Me)O_3-PbTiO_3材料体系研究 | 第21-23页 |
| 1.5.1 Bi(Me)O_3-PbTiO_3陶瓷材料的研究 | 第21-22页 |
| 1.5.2 Bi(Me)O_3-PbTiO_3薄膜材料的研究现状 | 第22-23页 |
| 1.6 本论文主要工作 | 第23页 |
| 参考文献 | 第23-33页 |
| 第二章 xBI-(1-x)PT薄膜的制备、结构、铁电特性和居里温度研究 | 第33-71页 |
| 2.1 引言 | 第33-34页 |
| 2.2 实验方法 | 第34-41页 |
| 2.2.1 射频磁控溅射系统 | 第34-36页 |
| 2.2.2 薄膜的测试方法 | 第36-41页 |
| 2.3 样品的制备 | 第41-47页 |
| 2.3.1 电极、缓冲层的选择和设计 | 第41-43页 |
| 2.3.2 xBI-(1-x)PT薄膜的制备 | 第43-47页 |
| 2.4 实验结果与讨论 | 第47-66页 |
| 2.4.1 xBI-(1-x)PT薄膜结构分析 | 第47-56页 |
| 2.4.2 La掺杂xBI-(1-x)PT薄膜的铁电特性 | 第56-59页 |
| 2.4.3 La掺杂xBI-(1-x)PT薄膜的介电特性与居里温度 | 第59-63页 |
| 2.4.4 基于Si基底的xBI-(1-x)PT薄膜铁电特性 | 第63-66页 |
| 2.5 本章小结 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 第三章 xBI-(1-x)PT薄膜横向压电特性----基于悬臂梁方法的实验研究 | 第71-89页 |
| 3.1 引言 | 第71-72页 |
| 3.2 实验方法 | 第72-76页 |
| 3.2.1 xBI-(1-x)PT压电薄膜悬臂梁的制备与表征 | 第72-75页 |
| 3.2.2 悬臂梁弯曲振动的测量 | 第75-76页 |
| 3.3 横向压电系数检测原理 | 第76-82页 |
| 3.3.1 压电方程组 | 第76-80页 |
| 3.3.2 基于悬臂梁的有效横向压电系数的计算 | 第80-82页 |
| 3.4 实验结果与讨论 | 第82-83页 |
| 3.4.1 3mol.% La掺杂xBI-(1-x)PT薄膜的横向压电特性 | 第82-83页 |
| 3.4.2 不同比例La掺杂0.15BI-0.85PT薄膜的横向压电特性 | 第83页 |
| 3.5 本章小结 | 第83-84页 |
| 参考文献 | 第84-89页 |
| 第四章 xBI-(1-x)PT薄膜的横向压电特性理论研究 | 第89-108页 |
| 4.1 引言 | 第89-90页 |
| 4.2 PbTiO_3弹性参数的计算 | 第90-91页 |
| 4.3 La掺杂xBI-(1-x)PT薄膜的弹性参数计算 | 第91-95页 |
| 4.3.1 弹性顺度计算模型及方法 | 第91-93页 |
| 4.3.2 弹性顺度系数的计算结果 | 第93-95页 |
| 4.4 基于COMSOL的压电薄膜材料的悬臂梁仿真研究---PZT-5A/MgO悬臂梁 | 第95-99页 |
| 4.4.1 有限元计算过程 | 第95-97页 |
| 4.4.2 PZT-5A横向压电系数的COMSOL计算 | 第97-99页 |
| 4.5 xBI-(1-x)PT压电薄膜有效横向压电特性仿真研究 | 第99-102页 |
| 4.6 本章小结 | 第102-103页 |
| 参考文献 | 第103-108页 |
| 第五章 总结与展望 | 第108-110页 |
| 博士学位期间完成的论文 | 第110-111页 |
| 致谢 | 第111-112页 |
