| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 超声电机的国内外研究现状 | 第11-13页 |
| 1.3 超声电源的国内外研究现状 | 第13-15页 |
| 1.4 超声电机控制系统的国内外研究现状 | 第15-16页 |
| 1.5 国内外研究现状总结 | 第16-17页 |
| 1.6 本文的主要研究内容 | 第17-19页 |
| 第2章 两自由度直线运动平台及弯振复合型超声电机设计与制作 | 第19-27页 |
| 2.1 引言 | 第19页 |
| 2.2 两自由度直线运动平台的设计与制作 | 第19-21页 |
| 2.3 弯振复合型超声电机的改进设计与制作测试 | 第21-25页 |
| 2.3.1 弯振复合型超声电机改进设计与分析 | 第21-22页 |
| 2.3.2 弯振复合型超声电机的制作与测试 | 第22-25页 |
| 2.4 本章小结 | 第25-27页 |
| 第3章 超声电源的研制与测试 | 第27-50页 |
| 3.1 引言 | 第27页 |
| 3.2 超声电源的输入输出特性要求 | 第27-28页 |
| 3.2.1 超声电源的输入特性要求 | 第27页 |
| 3.2.2 超声电源的输出特性要求 | 第27-28页 |
| 3.3 超声电源总方案设计 | 第28-29页 |
| 3.4 直流调压电路设计与仿真 | 第29-35页 |
| 3.4.1 变压器设计 | 第29-31页 |
| 3.4.2 PWM发生电路设计 | 第31页 |
| 3.4.3 电流反馈电路设计 | 第31-32页 |
| 3.4.4 箝位电路设计 | 第32页 |
| 3.4.5 电压反馈电路和输出电压泄放回路设计 | 第32-34页 |
| 3.4.6 直流调压电路仿真 | 第34-35页 |
| 3.5 半桥逆变电路设计与仿真 | 第35-37页 |
| 3.6 控制电路设计 | 第37-38页 |
| 3.7 辅助电路设计 | 第38-40页 |
| 3.8 电路控制程序设计 | 第40-44页 |
| 3.9 电源制作与测试 | 第44-49页 |
| 3.10 本章小结 | 第49-50页 |
| 第4章 压电致动型两自由度直线运动平台的速度测试与控制研究 | 第50-60页 |
| 4.1 引言 | 第50页 |
| 4.2 压电致动型两自由度直线运动平台的开环速度特性测试 | 第50-53页 |
| 4.3 直线运动平台速度闭环控制系统的搭建 | 第53-55页 |
| 4.4 压电致动型两自由度直线运动平台的速度闭环控制实验 | 第55-59页 |
| 4.4.1 速度阶跃控制 | 第55-57页 |
| 4.4.2 速度正弦控制 | 第57-59页 |
| 4.5 本章小结 | 第59-60页 |
| 结论 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68页 |
