| 摘要 | 第3-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-26页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 纳米材料 | 第9-13页 |
| 1.2.1 纳米材料的简介 | 第9页 |
| 1.2.2 纳米材料的特性 | 第9-10页 |
| 1.2.3 纳米材料的分类 | 第10-11页 |
| 1.2.4 纳米材料的制备及表征 | 第11-13页 |
| 1.2.5 纳米材料的应用 | 第13页 |
| 1.3 纳米复合材料 | 第13-14页 |
| 1.3.1 纳米复合材料的命名和分类 | 第13-14页 |
| 1.4 氧化锌 | 第14-19页 |
| 1.4.1 氧化锌的结构和基本性质 | 第14-15页 |
| 1.4.2 ZnO纳米材料的制备 | 第15-16页 |
| 1.4.3 氧化锌的纳米形貌分类 | 第16-19页 |
| 1.4.4 氧化锌纳米材料的应用 | 第19页 |
| 1.5 H_2S气体 | 第19-21页 |
| 1.5.1 H_2S气体对环境的危害 | 第19-20页 |
| 1.5.2 H_2S气体对人体的危害 | 第20-21页 |
| 1.6 传感器 | 第21-22页 |
| 1.7 微电子机械系统 | 第22-25页 |
| 1.7.1 MEMS技术的主要特点 | 第22-23页 |
| 1.7.2 MEMS的主要加工技术 | 第23-24页 |
| 1.7.3 MEMS技术的应用 | 第24-25页 |
| 1.8 本论文研究的主要内容 | 第25-26页 |
| 第2章 复合氧化锌纳米线的制备及表征 | 第26-35页 |
| 2.1 前言 | 第26页 |
| 2.2 复合ZnO纳米线材料制备 | 第26-29页 |
| 2.2.1 试验所用试剂及仪器设备 | 第26-27页 |
| 2.2.2 直径为90nm的ZnO纳米线的制备 | 第27-28页 |
| 2.2.3 复合ZnO纳米线材料制备 | 第28-29页 |
| 2.3 材料的表征 | 第29-34页 |
| 2.3.1 SEM表征 | 第30-32页 |
| 2.3.2 TEM和XRD表征 | 第32-34页 |
| 2.4 本章小结 | 第34-35页 |
| 第3章 旁热式微传感器的设计及制造 | 第35-41页 |
| 3.1 前言 | 第35页 |
| 3.2 旁热式微传感器的设计及制造 | 第35-38页 |
| 3.2.1 旁热式微传感器的设计 | 第35-36页 |
| 3.2.2 旁热式微传感器的制造 | 第36-37页 |
| 3.2.3 制作完成的旁热式微传感器 | 第37-38页 |
| 3.3 旁热式微传感器的性能验证 | 第38-40页 |
| 3.4 搭建测试系统 | 第40页 |
| 3.5 本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 复合ZnO纳米线传感器的制备及其在气体检测中的应用 | 第41-54页 |
| 4.1 前言 | 第41页 |
| 4.2 实验部分 | 第41-50页 |
| 4.2.1 旁热式微传感器结合ZnO纳米线构建传感器 | 第41-45页 |
| 4.2.2 旁热式微传感器与复合ZnO纳米线结合构建高效传感器 | 第45-50页 |
| 4.3 传感器气敏机理研究 | 第50-53页 |
| 4.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 第5章 总结与展望 | 第54-56页 |
| 总结 | 第54页 |
| 今后工作与展望 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-61页 |
| 攻读硕士期间取得的研究成果 | 第61-62页 |
| 已发表论文 | 第61页 |
| 参加学术报告 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62页 |
