微波功率薄膜负载与衰减器的设计与制作
| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-17页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第11-12页 |
| 1.2 氮化钽薄膜材料 | 第12-13页 |
| 1.3 微波功率薄膜负载与衰减器简介 | 第13-15页 |
| 1.3.1 微波功率薄膜负载 | 第13-14页 |
| 1.3.2 微波功率薄膜衰减器 | 第14-15页 |
| 1.4 微波功率薄膜负载与衰减器研究现状 | 第15页 |
| 1.5 选题依据与研究内容 | 第15-17页 |
| 1.5.1 选题依据 | 第15-16页 |
| 1.5.2 研究内容 | 第16-17页 |
| 第二章 氮化钽薄膜的制备及性能研究 | 第17-32页 |
| 2.1 薄膜的制备工艺 | 第17-19页 |
| 2.1.1 磁控溅射的原理 | 第17-19页 |
| 2.2 BeO陶瓷基片的改性 | 第19-25页 |
| 2.2.1 玻璃釉粉料的制备 | 第21-22页 |
| 2.2.2 有机载体的制备 | 第22页 |
| 2.2.3 丝网印刷被覆玻璃釉 | 第22-23页 |
| 2.2.4 烧结成型 | 第23-25页 |
| 2.3 TaN薄膜的制备与测试方法 | 第25-27页 |
| 2.3.1 TaN薄膜制备的工艺条件 | 第25-26页 |
| 2.3.2 TaN薄膜的测试与分析方法 | 第26-27页 |
| 2.4 氮流量对TaN薄膜结构与性能的影响 | 第27-31页 |
| 2.4.1 氮流量对TaN薄膜相结构的影响 | 第28页 |
| 2.4.2 氮流量对TaN薄膜厚度以及方阻的影响 | 第28-30页 |
| 2.4.3 氮流量对薄膜电阻率的影响 | 第30页 |
| 2.4.4 氮气流量对TCR的影响 | 第30-31页 |
| 2.5 本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 微波功率薄膜负载与衰减器的设计与仿真 | 第32-51页 |
| 3.1 微波功率匹配负载基本理论 | 第32-37页 |
| 3.1.1 匹配负载的等效电路模型 | 第32-36页 |
| 3.1.2 薄膜负载的功率特性 | 第36-37页 |
| 3.2 功率薄膜负载的设计与仿真 | 第37-44页 |
| 3.2.1 微波性能的仿真 | 第37-40页 |
| 3.2.2 功率的仿真 | 第40-44页 |
| 3.3 衰减器的设计与仿真 | 第44-50页 |
| 3.3.1 衰减器的基本理论 | 第44-46页 |
| 3.3.2 衰减器的设计与仿真 | 第46-50页 |
| 3.4 小结 | 第50-51页 |
| 第四章 微波功率薄膜负载与衰减器的制作与测试 | 第51-69页 |
| 4.1 微波功率薄膜负载与衰减器的制作 | 第51-59页 |
| 4.1.1 蒸发镀膜制作电极 | 第51-53页 |
| 4.1.2 光刻与刻蚀图形化电极 | 第53-57页 |
| 4.1.3 TaN薄膜的制备以及图形化 | 第57-59页 |
| 4.2 薄膜负载与衰减器微波性能的测试 | 第59-66页 |
| 4.3 微波功率薄膜负载与衰减器功率功率承载测试 | 第66-67页 |
| 4.4 小结 | 第67-69页 |
| 第五章 结论与展望 | 第69-71页 |
| 5.1 结论 | 第69-70页 |
| 5.2 展望 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-74页 |
| 攻硕士期间取得的研究成果 | 第74-75页 |
