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ITO透明导电膜的制备及其性能研究

摘要第3-4页
ABSTRACT第4-5页
第一章 文献综述第8-19页
    1.1 ITO 透明导电膜的特性与应用第8-10页
        1.1.1 ITO 透明导电膜的特性第8-9页
        1.1.2 ITO 透明导电膜的应用第9-10页
    1.2 ITO 透明导电膜的制备方法第10-12页
        1.2.1 直流磁控溅射法第10页
        1.2.2 化学气相沉积法第10-11页
        1.2.3 喷雾热分解法第11页
        1.2.4 溶胶-凝胶法第11-12页
        1.2.5 溶胶直接制备法第12页
    1.3 ITO 纳米颗粒的分散与稳定第12-17页
        1.3.1 ITO 纳米颗粒的分散第12-16页
        1.3.2 ITO 纳米颗粒的稳定第16-17页
    1.4 本文的研究意义及内容第17-19页
第二章 实验部分第19-25页
    2.1 实验试剂与仪器第19-21页
        2.1.1 实验试剂第19页
        2.1.2 实验仪器第19-20页
        2.1.3 实验材料的选取第20-21页
    2.2 实验方法第21-22页
        2.2.1 ITO 溶胶的分散与制备第21页
        2.2.2 ITO 溶胶制备工艺的优化第21-22页
        2.2.3 ITO 透明导电膜的制备及热处理第22页
    2.3 表征与测试第22-25页
第三章 ITO 溶胶的分散及稳定性研究第25-47页
    3.1 ITO 纳米粉体的 XRD 及粒度分析第25-27页
    3.2 分散方式对 ITO 溶胶分散性能的影响第27-31页
        3.2.1 超声分散第27-29页
        3.2.2 磁力搅拌第29-30页
        3.2.3 混合分散方式第30-31页
    3.3 表面活性剂对 ITO 溶胶分散性能的影响第31-35页
        3.3.1 离子型表面活性剂第31-33页
        3.3.2 非离子型表面活性剂第33-35页
    3.4 ITO 溶胶的制备工艺的优化第35-45页
        3.4.1 以 PVP 为分散剂研究 ITO 溶胶的制备工艺第36-41页
        3.4.2 以 PEG(4000)为分散剂研究 ITO 溶胶的制备工艺第41-45页
    3.5 本章小结第45-47页
第四章 ITO 透明导电膜的制备及性能研究第47-59页
    4.1 热处理温度对 ITO 透明导电膜性能的影响第47-51页
        4.1.1 对薄膜导电性能的影响第47-50页
        4.1.2 对薄膜透光性能的影响第50-51页
    4.2 热处理时间对 ITO 透明导电膜性能的影响第51-53页
        4.2.1 对薄膜导电性能的影响第51-52页
        4.2.2 对薄膜透光性能的影响第52-53页
    4.3 热处理环境对 ITO 透明导电膜性能的影响第53-55页
        4.3.1 对薄膜导电性能的影响第53-54页
        4.3.2 对薄膜透光性能的影响第54-55页
    4.4 表面粗糙度对 ITO 透明导电膜性能的影响第55-58页
        4.4.1 对薄膜导电性能的影响第56-57页
        4.4.2 对薄膜透光性能的影响第57-58页
    4.5 本章小结第58-59页
第五章 结论第59-61页
参考文献第61-65页
发表论文和参加科研情况说明第65-66页
致谢第66页

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