分布式MEMS移相器优化与分析
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 RF MEMS技术 | 第9-10页 |
| 1.2 RF MEMS移相器 | 第10-12页 |
| 1.3 RF MEMS移相器的分类 | 第12-15页 |
| 1.3.1 开关线型MEMS移相器 | 第12-13页 |
| 1.3.2 耦合型MEMS移相器 | 第13-14页 |
| 1.3.3 分布式MEMS移相器 | 第14-15页 |
| 1.4 本文选题和研究内容 | 第15-17页 |
| 第二章 分布式MEMS移相器的性能分析 | 第17-28页 |
| 2.1 分布式MEMS移相器理论基础 | 第17-19页 |
| 2.1.1 共面波导结构 | 第17-18页 |
| 2.1.2 分布式MEMS移相器工作原理 | 第18-19页 |
| 2.2 分布式MEMS移相器的主要参数 | 第19-24页 |
| 2.2.1 电容比和相移量 | 第19-21页 |
| 2.2.2 布拉格频率 | 第21页 |
| 2.2.3 下拉电压 | 第21-24页 |
| 2.3 损耗 | 第24-25页 |
| 2.4 分布式MEMS移相器的设计过程 | 第25-27页 |
| 2.5 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 分布式RF MEMS移相器仿真 | 第28-41页 |
| 3.1 共面波导参数设计 | 第28-31页 |
| 3.2 MEMS开关仿真分析 | 第31-37页 |
| 3.2.1 工作频率对MEMS开关性能的影响 | 第31-34页 |
| 3.2.2 等效电容大小对MEMS开关影响 | 第34-37页 |
| 3.3 布拉格频率仿真 | 第37-40页 |
| 3.4 本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 分布式MEMS移相器模型设计 | 第41-56页 |
| 4.1 MEMS开关桥的设计 | 第41-46页 |
| 4.1.1 桥膜厚度的影响 | 第41-42页 |
| 4.1.2 桥长度变化的影响 | 第42页 |
| 4.1.3 桥膜宽度变化的影响 | 第42-43页 |
| 4.1.4 桥膜高度的影响 | 第43-44页 |
| 4.1.5 支撑梁形状的影响 | 第44-46页 |
| 4.1.6 对开启电压仿真结果的分析 | 第46页 |
| 4.2 MEMS开关设计和优化 | 第46-53页 |
| 4.2.1 MEMS开关桥膜尺寸 | 第46-47页 |
| 4.2.2 开关电极设计 | 第47页 |
| 4.2.3 开关模型设计 | 第47-49页 |
| 4.2.4 MEMS开关优化与分析 | 第49-52页 |
| 4.2.5 开关下拉电压仿真计算 | 第52-53页 |
| 4.3 分布式MEMS移相器的设计 | 第53-55页 |
| 4.3.1 分布式MEMS移相器设计 | 第54页 |
| 4.3.2 分布式MEMS移相器的仿真 | 第54-55页 |
| 4.4 本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 MEMS移相器失效分析 | 第56-67页 |
| 5.1 设计阶段失效模型 | 第56-59页 |
| 5.1.1 MEMS功能失效模式 | 第56-57页 |
| 5.1.2 MEMS材料失效模式 | 第57-59页 |
| 5.2 制造中的失效模式 | 第59-62页 |
| 5.2.1 前段工艺缺陷 | 第60-62页 |
| 5.2.2 后端工艺失效 | 第62页 |
| 5.3 机械失效模式 | 第62-65页 |
| 5.3.1 断裂 | 第62-63页 |
| 5.3.2 抗机械冲击 | 第63-64页 |
| 5.3.3 蠕变 | 第64页 |
| 5.3.4 疲劳 | 第64-65页 |
| 5.4 电失效模式 | 第65-66页 |
| 5.4.1 MEMS的充电 | 第65页 |
| 5.4.2 电击穿及静电放电 | 第65-66页 |
| 5.5 本章小结 | 第66-67页 |
| 第六章 总结与展望 | 第67-69页 |
| 6.1 工作总结 | 第67-68页 |
| 6.2 后续工作展望 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-72页 |
| 在学期间的研究成果 | 第72-73页 |
