高能球磨辅助熔盐氮化法低温制备氮化硅粉体的研究
摘要 | 第2-4页 |
Abstract | 第4-5页 |
引言 | 第9-10页 |
第1章 文献综述 | 第10-35页 |
1.1 氮化硅的结构、性能及应用 | 第10-14页 |
1.1.1 氮化硅的晶体结构 | 第10-11页 |
1.1.2 氮化硅的性能 | 第11-12页 |
1.1.3 氮化硅的应用 | 第12-14页 |
1.2 氮化硅粉体的制备方法 | 第14-24页 |
1.2.1 硅粉直接氮化法 | 第15-17页 |
1.2.2 碳热还原氮化法 | 第17-20页 |
1.2.3 自蔓延高温合成法 | 第20-21页 |
1.2.4 热分解法 | 第21-22页 |
1.2.5 气相法 | 第22-24页 |
1.3 硅粉氮化反应的影响因素 | 第24-29页 |
1.3.1 氮化制度 | 第24页 |
1.3.2 稀释剂 | 第24-25页 |
1.3.3 硅粉粒度 | 第25-26页 |
1.3.4 氢气 | 第26-27页 |
1.3.5 金属催化剂 | 第27-29页 |
1.4 熔盐氮化法 | 第29-32页 |
1.4.1 TiN粉体 | 第29-30页 |
1.4.2 BN粉体 | 第30-31页 |
1.4.3 Si_3N_4粉体 | 第31-32页 |
1.5 机械力活化技术 | 第32-33页 |
1.6 课题的目的及意义 | 第33-35页 |
第2章 实验 | 第35-39页 |
2.1 实验原料及设备 | 第35-36页 |
2.1.1 实验原料 | 第35-36页 |
2.1.2 实验设备 | 第36页 |
2.2 实验内容 | 第36页 |
2.3 样品制备与表征 | 第36-39页 |
2.3.1 制备工艺 | 第36-37页 |
2.3.2 表征方法 | 第37-39页 |
第3章 Si-N-O体系热力学分析和实验初步探索 | 第39-47页 |
3.1 Si-N-O体系热力学分析 | 第39-42页 |
3.2 球磨工艺参数的确定 | 第42-44页 |
3.2.1 实验条件 | 第42页 |
3.2.2 结果与讨论 | 第42-44页 |
3.3 氮气流量的确定 | 第44-46页 |
3.3.1 实验条件 | 第44页 |
3.3.2 结果与讨论 | 第44-46页 |
3.4 小结 | 第46-47页 |
第4章 工艺参数和原料配比对氮化反应的影响 | 第47-64页 |
4.1 氮化温度的影响 | 第47-52页 |
4.1.1 实验条件 | 第47-48页 |
4.1.2 结果与讨论 | 第48-52页 |
4.2 保温时间的影响 | 第52-55页 |
4.2.1 实验条件 | 第52页 |
4.2.2 结果与讨论 | 第52-55页 |
4.3 盐硅比的影响 | 第55-58页 |
4.3.1 实验条件 | 第55页 |
4.3.2 结果与讨论 | 第55-58页 |
4.4 NaF含量的影响 | 第58-61页 |
4.4.1 实验条件 | 第58页 |
4.4.2 结果与讨论 | 第58-61页 |
4.5 α-Si_3N_4晶须的生长机制 | 第61-63页 |
4.6 小结 | 第63-64页 |
第5章 催化剂对氮化反应的影响 | 第64-78页 |
5.1 催化剂对氮化温度的影响 | 第64-68页 |
5.1.1 实验条件 | 第64-65页 |
5.1.2 结果与讨论 | 第65-68页 |
5.2 催化剂含量的影响 | 第68-71页 |
5.2.1 实验条件 | 第68页 |
5.2.2 结果与讨论 | 第68-71页 |
5.3 催化剂对不同熔盐体系的影响 | 第71-74页 |
5.3.1 实验条件 | 第71页 |
5.3.2 结果与讨论 | 第71-74页 |
5.4 催化剂种类的影响 | 第74-77页 |
5.4.1 实验条件 | 第74页 |
5.4.2 结果与讨论 | 第74-77页 |
5.5 小结 | 第77-78页 |
第6章 结论 | 第78-79页 |
参考文献 | 第79-86页 |
致谢 | 第86-87页 |