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高能球磨辅助熔盐氮化法低温制备氮化硅粉体的研究

摘要第2-4页
Abstract第4-5页
引言第9-10页
第1章 文献综述第10-35页
    1.1 氮化硅的结构、性能及应用第10-14页
        1.1.1 氮化硅的晶体结构第10-11页
        1.1.2 氮化硅的性能第11-12页
        1.1.3 氮化硅的应用第12-14页
    1.2 氮化硅粉体的制备方法第14-24页
        1.2.1 硅粉直接氮化法第15-17页
        1.2.2 碳热还原氮化法第17-20页
        1.2.3 自蔓延高温合成法第20-21页
        1.2.4 热分解法第21-22页
        1.2.5 气相法第22-24页
    1.3 硅粉氮化反应的影响因素第24-29页
        1.3.1 氮化制度第24页
        1.3.2 稀释剂第24-25页
        1.3.3 硅粉粒度第25-26页
        1.3.4 氢气第26-27页
        1.3.5 金属催化剂第27-29页
    1.4 熔盐氮化法第29-32页
        1.4.1 TiN粉体第29-30页
        1.4.2 BN粉体第30-31页
        1.4.3 Si_3N_4粉体第31-32页
    1.5 机械力活化技术第32-33页
    1.6 课题的目的及意义第33-35页
第2章 实验第35-39页
    2.1 实验原料及设备第35-36页
        2.1.1 实验原料第35-36页
        2.1.2 实验设备第36页
    2.2 实验内容第36页
    2.3 样品制备与表征第36-39页
        2.3.1 制备工艺第36-37页
        2.3.2 表征方法第37-39页
第3章 Si-N-O体系热力学分析和实验初步探索第39-47页
    3.1 Si-N-O体系热力学分析第39-42页
    3.2 球磨工艺参数的确定第42-44页
        3.2.1 实验条件第42页
        3.2.2 结果与讨论第42-44页
    3.3 氮气流量的确定第44-46页
        3.3.1 实验条件第44页
        3.3.2 结果与讨论第44-46页
    3.4 小结第46-47页
第4章 工艺参数和原料配比对氮化反应的影响第47-64页
    4.1 氮化温度的影响第47-52页
        4.1.1 实验条件第47-48页
        4.1.2 结果与讨论第48-52页
    4.2 保温时间的影响第52-55页
        4.2.1 实验条件第52页
        4.2.2 结果与讨论第52-55页
    4.3 盐硅比的影响第55-58页
        4.3.1 实验条件第55页
        4.3.2 结果与讨论第55-58页
    4.4 NaF含量的影响第58-61页
        4.4.1 实验条件第58页
        4.4.2 结果与讨论第58-61页
    4.5 α-Si_3N_4晶须的生长机制第61-63页
    4.6 小结第63-64页
第5章 催化剂对氮化反应的影响第64-78页
    5.1 催化剂对氮化温度的影响第64-68页
        5.1.1 实验条件第64-65页
        5.1.2 结果与讨论第65-68页
    5.2 催化剂含量的影响第68-71页
        5.2.1 实验条件第68页
        5.2.2 结果与讨论第68-71页
    5.3 催化剂对不同熔盐体系的影响第71-74页
        5.3.1 实验条件第71页
        5.3.2 结果与讨论第71-74页
    5.4 催化剂种类的影响第74-77页
        5.4.1 实验条件第74页
        5.4.2 结果与讨论第74-77页
    5.5 小结第77-78页
第6章 结论第78-79页
参考文献第79-86页
致谢第86-87页

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