激光诱导薄膜的热致损伤分析与仿真
| 摘要 | 第2-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第8-13页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第8-9页 |
| 1.2 课题研究目的和意义 | 第9页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第9-12页 |
| 1.3.1 国内研究现状 | 第9-10页 |
| 1.3.2 国外研究现状 | 第10-12页 |
| 1.4 研究内容 | 第12-13页 |
| 2 激光诱导薄膜的热致损伤机理 | 第13-17页 |
| 2.1 激光诱导薄膜的热致损伤的定义 | 第13页 |
| 2.2 光学薄膜对激光的吸收 | 第13-14页 |
| 2.3 激光诱导薄膜的热致损伤过程 | 第14-16页 |
| 2.4 本章小结 | 第16-17页 |
| 3 激光诱导薄膜的热致损伤的温度场 | 第17-28页 |
| 3.1 激光诱导薄膜的热致损伤的温度场模型的建立 | 第17-19页 |
| 3.2 激光的高斯分布形式 | 第19-20页 |
| 3.3 傅里叶变换 | 第20-21页 |
| 3.3.1 傅里叶变换 | 第20页 |
| 3.3.2 傅里叶变换的性质 | 第20-21页 |
| 3.4 Γ函数及其性质 | 第21-23页 |
| 3.5 温度场的数值求解 | 第23-27页 |
| 3.6 本章小结 | 第27-28页 |
| 4 激光诱导薄膜的温度场的仿真计算 | 第28-35页 |
| 4.1 MATLAB的特点 | 第28页 |
| 4.2 温度场仿真计算的软件设计 | 第28页 |
| 4.3 温度场仿真计算的模块 | 第28-34页 |
| 4.3.1 GUI组件的布局设计 | 第28-30页 |
| 4.3.2 GUI组件编程 | 第30-34页 |
| 4.4 本章小结 | 第34-35页 |
| 5 几种常见光学薄膜的温度场的计算结果分析 | 第35-52页 |
| 5.1 DLC薄膜 | 第35-38页 |
| 5.2 介质薄膜 | 第38-51页 |
| 5.2.1 HfO_2薄膜 | 第38-40页 |
| 5.2.2 TiO_2薄膜 | 第40-43页 |
| 5.2.3 Al_2O_3薄膜 | 第43-45页 |
| 5.2.4 Ta_2O_5薄膜 | 第45-49页 |
| 5.2.5 ZrO_2薄膜 | 第49-51页 |
| 5.3 本章小结 | 第51-52页 |
| 6 结论与展望 | 第52-54页 |
| 6.1 结论 | 第52-53页 |
| 6.2 展望 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-58页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-62页 |
| 附录 | 第62-67页 |
