| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第12-26页 |
| 1.1 MEMS真空封装 | 第12-15页 |
| 1.2 吸气剂在MEMS真空封装中研究现状 | 第15-23页 |
| 1.2.1 吸气剂的分类 | 第15-18页 |
| 1.2.2 MEMS真空封装中非蒸散薄膜吸气剂的研究进展 | 第18-23页 |
| 1.3 基于VA-CNTs纳米吸气剂的提出 | 第23页 |
| 1.4 研究目标及主要研究内容 | 第23-26页 |
| 1.4.1 研究目标 | 第23-24页 |
| 1.4.2 论文内容安排 | 第24-26页 |
| 第二章 VA-CNTs纳米吸气剂吸气模型 | 第26-44页 |
| 2.1 CNTs简介 | 第26-29页 |
| 2.1.1 CNTs的结构及特性 | 第26-28页 |
| 2.1.2 CNTs的吸附性能 | 第28-29页 |
| 2.2 VA-CNTs纳米吸气剂吸气模型的建立 | 第29-33页 |
| 2.2.1 传统吸气剂的吸气机制与吸气模型 | 第29-32页 |
| 2.2.2 VA-CNTs纳米吸气剂吸气模型的提出 | 第32-33页 |
| 2.3 VA-CNTs纳米吸气剂吸气模型的理论分析 | 第33-42页 |
| 2.3.1 一般吸气剂吸气动力学分析 | 第33-40页 |
| 2.3.2 VA-CNTs纳米吸气剂吸气动力学分析 | 第40-42页 |
| 2.4 本章小结 | 第42-44页 |
| 第三章 VA-CNTs纳米吸气剂的制备工艺 | 第44-90页 |
| 3.1 整体工艺流程设计与分析 | 第44-46页 |
| 3.2 VA-CNTs的制备 | 第46-53页 |
| 3.2.1 CNTs垂直生长机理 | 第46-50页 |
| 3.2.2 VA-CNTs生长装置 | 第50页 |
| 3.2.3 VA-CNTs生长 | 第50-53页 |
| 3.3 VA-CNTs纳米吸气剂的转移 | 第53-66页 |
| 3.3.1 VA-CNTs转移方法概述 | 第53-56页 |
| 3.3.2 VA-CNTs的等离子体处理 | 第56-60页 |
| 3.3.3 粘黏法转移VA-CNTs | 第60-66页 |
| 3.4 吸气材料的制备工艺 | 第66-79页 |
| 3.4.1 吸气材料的选择 | 第66页 |
| 3.4.2 吸气材料制备工艺参数的优化 | 第66-74页 |
| 3.4.3 VA-CNTs上制备吸气材料的工艺研究 | 第74-79页 |
| 3.5 VA-CNTs纳米吸气剂的激活 | 第79-88页 |
| 3.5.1 吸气剂激活原理 | 第79页 |
| 3.5.2 VA-CNTs纳米吸气剂激活工艺研究与表征 | 第79-88页 |
| 3.6 本章小结 | 第88-90页 |
| 第四章 VA-CNTs纳米吸气剂吸气性能测试与评估 | 第90-106页 |
| 4.1 VA-CNTs纳米吸气剂吸气性能评价方案 | 第90-92页 |
| 4.1.1 性能评价方案制定 | 第90页 |
| 4.1.2 测试原理及仪器 | 第90-92页 |
| 4.2 VA-CNTs纳米吸气剂的BET比表面积测试 | 第92-96页 |
| 4.3 VA-CNTs纳米吸气剂的TGA测试 | 第96-100页 |
| 4.4 本课题提出的吸气剂实时表征方法及论证 | 第100-104页 |
| 4.5 本章小结 | 第104-106页 |
| 第五章 结论与展望 | 第106-108页 |
| 5.1 结论 | 第106-107页 |
| 5.2 工作展望 | 第107-108页 |
| 参考文献 | 第108-113页 |
| 攻读硕士学位期间所发表的成果 | 第113-115页 |
| 致谢 | 第115页 |
