薄玻璃厚度一致性和非球面面形的光学干涉检测研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 课题背景及研究意义 | 第8-9页 |
| 1.2 光干涉条件及方式 | 第9-13页 |
| 1.2.1 光干涉条件 | 第9-10页 |
| 1.2.2 分波前干涉方式 | 第10-11页 |
| 1.2.3 分振幅干涉方式 | 第11-13页 |
| 1.3 论文主要工作和内容安排 | 第13-14页 |
| 第二章 薄玻璃厚度一致性的检测研究 | 第14-37页 |
| 2.1 光学测厚方法概述 | 第14-16页 |
| 2.1.1 透射法 | 第14-15页 |
| 2.1.2 反射法 | 第15-16页 |
| 2.1.3 干涉法 | 第16页 |
| 2.2 干涉法检测薄玻璃厚度一致性的原理 | 第16-20页 |
| 2.2.1 迈克耳孙干涉仪组成及原理 | 第16-18页 |
| 2.2.2 薄玻璃厚度一致性检测实验原理 | 第18-20页 |
| 2.3 薄玻璃厚度一致性检测的实验设计 | 第20-36页 |
| 2.3.1 实验装置 | 第20-22页 |
| 2.3.2 检测光路的搭建与仿真研究 | 第22-27页 |
| 2.3.3 薄玻璃厚度一致性检测实验过程 | 第27-32页 |
| 2.3.4 检测结果与分析 | 第32-36页 |
| 2.4 本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 基于CGH仿真设计的非球面面形检测研究 | 第37-57页 |
| 3.1 计算全息(CGH)检测非球面的基本理论 | 第37-45页 |
| 3.1.1 非球面基本概念 | 第37-40页 |
| 3.1.2 非球面的全息检测方法 | 第40-41页 |
| 3.1.3 计算全息图的原理 | 第41-43页 |
| 3.1.4 基于CGH的非球面检测光路 | 第43-45页 |
| 3.2 非球面面形的检测系统 | 第45-51页 |
| 3.2.1 待测非球面的参数 | 第45页 |
| 3.2.2 检测系统原理 | 第45页 |
| 3.2.3 非球面面形检测系统设计 | 第45-51页 |
| 3.3 检测系统分析 | 第51-56页 |
| 3.3.1 计算全息图的位相函数 | 第51-52页 |
| 3.3.2 检测光路的误差分析 | 第52-55页 |
| 3.3.3 干涉图对比度讨论 | 第55-56页 |
| 3.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 第四章 总结与展望 | 第57-58页 |
| 4.1 论文研究成果 | 第57页 |
| 4.2 创新点 | 第57页 |
| 4.3 展望 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 在学期间公开发表论文及著作情况 | 第64页 |
