| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 研究背景及应用 | 第9-10页 |
| 1.2 电子显微镜高频高压直流电源发展概述 | 第10-13页 |
| 1.2.1 电子显微镜高频高压直流电源的发展与现状 | 第10-12页 |
| 1.2.2 电子显微镜高频高压直流电源的技术问题及难点 | 第12-13页 |
| 1.3 电子显微镜高频高压直流电源纹波 | 第13-14页 |
| 1.4 课题研究内容与要求 | 第14-16页 |
| 第二章 电子显微镜高频高压直流电源系统与电路设计 | 第16-23页 |
| 2.1 电子显微镜高频高压直流电源系统结构和工作原理 | 第16-17页 |
| 2.1.1 电子显微镜高频高压直流电源结构 | 第16-17页 |
| 2.1.2 电子显微镜高频高压直流电源系统工作原理 | 第17页 |
| 2.2 灯丝栅偏电源设计 | 第17-18页 |
| 2.3 硬件电路设计 | 第18-21页 |
| 2.3.1 反馈信号采集 | 第18-20页 |
| 2.3.2 保护电路设计 | 第20页 |
| 2.3.3 辅助电源设计 | 第20-21页 |
| 2.3.4 DSP芯片 | 第21页 |
| 2.4 本章总结 | 第21-23页 |
| 第三章 电子显微镜高频高压直流电源油箱设计 | 第23-37页 |
| 3.1 高频高压变压器设计 | 第23-27页 |
| 3.1.1 铁芯的选取 | 第24-25页 |
| 3.1.2 变压器参数设计 | 第25-27页 |
| 3.2 倍压整流电路设计 | 第27-34页 |
| 3.2.1 倍压整流电路工作原理 | 第27-28页 |
| 3.2.2 倍压电路的对比分析 | 第28-32页 |
| 3.2.3 倍压电路参数选取 | 第32-34页 |
| 3.3 高压直流电源开环仿真 | 第34-35页 |
| 3.4 本章总结 | 第35-37页 |
| 第四章 电子显微镜高频高压电源逆变器控制实现 | 第37-48页 |
| 4.1 逆变器双环控制简述 | 第37页 |
| 4.2 电子显微镜电源双环控制器设计 | 第37-44页 |
| 4.2.1 逆变器原理分析 | 第37-39页 |
| 4.2.2 逆变器双环控制参数设计 | 第39-44页 |
| 4.3 闭环仿真 | 第44-47页 |
| 4.4 本章总结 | 第47-48页 |
| 第五章 电子显微镜高频高压直流电源的实验调试 | 第48-59页 |
| 5.1 实验平台的搭建 | 第48-50页 |
| 5.1.1 高压电路 | 第48-49页 |
| 5.1.2 灯丝偏栅绝缘设计 | 第49-50页 |
| 5.2 实验波形分析 | 第50-58页 |
| 5.2.1 高压测试 | 第51-52页 |
| 5.2.2 纹波测量 | 第52-55页 |
| 5.2.3 稳定度验证 | 第55-58页 |
| 5.3 本章总结 | 第58-59页 |
| 第六章 结论与展望 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |
| 在学期间的研究成果 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65页 |
