| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 第一章 绪论 | 第12-21页 |
| 1.1 微机电系统的定义及发展概况 | 第12-14页 |
| 1.2 微机电系统的特点与分类 | 第14-18页 |
| 1.2.1 微机电系统的主要特点 | 第14页 |
| 1.2.2 微机电系统的工艺及分类 | 第14-18页 |
| 1.3 微机电系统的主要应用范围及趋势 | 第18-19页 |
| 1.4 本文结构及内容 | 第19-20页 |
| 1.5 本章参考文献 | 第20-21页 |
| 第二章 MEMS水下方向可控的微型自聚焦压电推进器的设计与制作 | 第21-45页 |
| 2.1 MEMS推进器 | 第21-22页 |
| 2.2 自聚焦压电声学推进器的工作原理 | 第22-36页 |
| 2.2.1 压电效应和压电材料 | 第22-25页 |
| 2.2.2 压电声学推进器的工作原理 | 第25-29页 |
| 2.2.3 自聚焦效应 | 第29-34页 |
| 2.2.4 模拟与仿真 | 第34-36页 |
| 2.3 水下自聚焦方向可控声学驱动器的制作和测试 | 第36-42页 |
| 2.3.1 水下驱动器的制作流程 | 第36-38页 |
| 2.3.2 测试方法与结果讨论 | 第38-42页 |
| 2.4 本章小结 | 第42页 |
| 2.5 本章参考文献 | 第42-45页 |
| 第三章 MEMS薄膜体声学谐振器工作原理 | 第45-60页 |
| 3.1 压电驱动声波谐振器 | 第45-46页 |
| 3.2 薄膜体声波谐振器(Film Bulk Acoustic Wave Resonator,FBAR) | 第46-53页 |
| 3.2.1 FBAR的背景知识 | 第46-50页 |
| 3.2.3 FBAR的几种结构以及FABR压电材料的选择 | 第50-52页 |
| 3.2.4 FBAR的应用 | 第52-53页 |
| 3.3 FBAR探测器的背景知识 | 第53-57页 |
| 3.4 本章小结 | 第57-58页 |
| 3.5 本章参考文献 | 第58-60页 |
| 第四章 基于薄膜体声学谐振器的红外线探测器的设计与制作 | 第60-78页 |
| 4.1 红外线探测器的背景知识以及历史发展 | 第60-62页 |
| 4.1.1 红外线的发现 | 第60-61页 |
| 4.1.2 红外线的用途 | 第61-62页 |
| 4.2 红外探测传感器 | 第62-68页 |
| 4.2.1 红外线探测器的历史发展和分类 | 第62-65页 |
| 4.2.2 表征红外探测器的基本参数 | 第65-67页 |
| 4.2.3 MEMS领域红外探测器的研究现状 | 第67-68页 |
| 4.3 基于薄膜体声学振荡器的红外线探测器的原理、设计、制作及测试 | 第68-75页 |
| 4.3.1 FBAR红外探测器原理简述 | 第68-70页 |
| 4.3.2 FBAR红外探测器的制作流拌 | 第70-72页 |
| 4.3.3 FBAR红外探测器的检测及结果讨论 | 第72-75页 |
| 4.4 本章小结 | 第75-76页 |
| 4.5 本章参考文献 | 第76-78页 |
| 第五章 基于薄膜体声学谐振器的臭氧探测器 | 第78-93页 |
| 5.1 臭氧的发现及臭氧探测器的历史发展 | 第78-81页 |
| 5.2 FBAR臭氧探测器的组装过程和实验条件 | 第81-85页 |
| 5.3 实验结果与讨论 | 第85-90页 |
| 5.4 本章小结 | 第90页 |
| 5.5 本章参考文献 | 第90-93页 |
| 第六章 成果与展望 | 第93-95页 |
| 6.1 论文的主要内容 | 第93-94页 |
| 6.2 论文的创新点 | 第94页 |
| 6.3 论文的不足之处和将来的工作 | 第94-95页 |
| 作者攻博期间发表的主要学术论文 | 第95-98页 |
| 致谢 | 第98页 |
