| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第9-23页 |
| 1.1 引言 | 第9-10页 |
| 1.2 β-FeSi_2的基本性质 | 第10-14页 |
| 1.2.1 Fe-Si二元体系相图 | 第10-11页 |
| 1.2.2 β-FeSi_2的晶体结构 | 第11-12页 |
| 1.2.3 β-FeSi_2的光电特性 | 第12-14页 |
| 1.3 基于 β-FeSi_2的器件研究现状 | 第14-21页 |
| 1.3.1 β-FeSi_2薄膜的制备方法 | 第14-15页 |
| 1.3.2 基于 β-FeSi_2薄膜的发光器件 | 第15-18页 |
| 1.3.3 基于 β-FeSi_2薄膜的太阳能电池 | 第18-21页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第21-22页 |
| 1.5 本章小结 | 第22-23页 |
| 第二章 太阳能电池基本原理 | 第23-46页 |
| 2.1 PN结对太阳光的吸收 | 第23-26页 |
| 2.2 太阳能电池基本原理 | 第26-28页 |
| 2.3 太阳能电池基本结构 | 第28-33页 |
| 2.4 太阳能电池等效电路 | 第33-37页 |
| 2.5 太阳能电池伏安特性 | 第37-42页 |
| 2.6 太阳能电池光伏特性的影响因素 | 第42-45页 |
| 2.7 本章小结 | 第45-46页 |
| 第三章 制备与表征测试设备 | 第46-55页 |
| 3.1 制备设备 | 第46-48页 |
| 3.1.1 磁控溅射镀膜系统 | 第46-47页 |
| 3.1.2 高真空热处理炉 | 第47-48页 |
| 3.2 表征设备 | 第48-51页 |
| 3.2.1 X射线衍射仪 | 第48-50页 |
| 3.2.2 场发射扫描电子显微镜 | 第50-51页 |
| 3.3 测试设备 | 第51-54页 |
| 3.3.1 霍尔效应测试仪 | 第51-52页 |
| 3.3.2 紫外/可见/近红外分光度计 | 第52-53页 |
| 3.3.3 少子寿命测试仪 | 第53-54页 |
| 3.3.4 太阳能电池I-V测试系统 | 第54页 |
| 3.4 本章小结 | 第54-55页 |
| 第四章 β-FeSi_2薄膜的制备及性能研究 | 第55-68页 |
| 4.1 β-FeSi_2薄膜的制备参数 | 第55-56页 |
| 4.2 退火温度对 β-FeSi_2薄膜形成的影响 | 第56-58页 |
| 4.3 退火时间对 β-FeSi_2薄膜形成的影响 | 第58-61页 |
| 4.4 Fe膜厚度对 β-FeSi_2薄膜形成的影响 | 第61-63页 |
| 4.5 β-FeSi_2薄膜的光学特性 | 第63-64页 |
| 4.6 β-FeSi_2薄膜的电学特性 | 第64-67页 |
| 4.7 分析 | 第67页 |
| 4.8 本章小结 | 第67-68页 |
| 第五章 β-FeSi_2薄膜异质结的制备及性能研究 | 第68-76页 |
| 5.1 β-FeSi_2/Si异质结 | 第68-72页 |
| 5.1.1 β-FeSi_2/Si异质结的制备 | 第68页 |
| 5.1.2 β-FeSi_2/Si异质结的表征 | 第68-71页 |
| 5.1.3 β-FeSi_2/Si异质结的光学特征 | 第71-72页 |
| 5.1.4 β-FeSi_2/Si异质结的电学特征 | 第72页 |
| 5.2 Si/β-FeSi_2/Si双异质结 | 第72-75页 |
| 5.2.1 Si/β-FeSi_2/Si双异质结的制备 | 第72-73页 |
| 5.2.2 Si/β-FeSi_2/Si双异质结的表征 | 第73-74页 |
| 5.2.3 Si/β-FeSi_2/Si双异质结的光学特征 | 第74-75页 |
| 5.2.4 Si/β-FeSi_2/Si双异质结的电学特征 | 第75页 |
| 5.3 本章小结 | 第75-76页 |
| 第六章 β-FeSi_2薄膜电池的模拟 | 第76-89页 |
| 6.1 AMPS-1D软件介绍 | 第76-77页 |
| 6.2 β-FeSi_2/Si薄膜电池的模拟 | 第77-80页 |
| 6.2.1 N-β-FeSi_2/P-c-Si电池模拟 | 第77-78页 |
| 6.2.2 P-β-FeSi_2/N-c-Si电池模拟 | 第78-80页 |
| 6.3 Si/β-FeSi_2/Si薄膜电池的模拟 | 第80-84页 |
| 6.4 β-FeSi_2薄膜厚度与太阳光波长的关系 | 第84-87页 |
| 6.4.1 薄膜厚度的计算 | 第84页 |
| 6.4.2 薄膜的吸收系数 | 第84-86页 |
| 6.4.3 薄膜吸收层厚度与光子波长关系 | 第86-87页 |
| 6.5 本章小结 | 第87-89页 |
| 第七章 β-FeSi_2薄膜电池的制备及测试 | 第89-113页 |
| 7.1 β-FeSi_2/Si异质结电池 | 第91-99页 |
| 7.1.1 磁控溅射制备电极 | 第91-92页 |
| 7.1.2 丝网印刷制备电极 | 第92-99页 |
| 7.2 Si/β-FeSi_2/Si双异质结电池 | 第99-106页 |
| 7.2.1 磁控溅射制备电极 | 第99-101页 |
| 7.2.2 丝网印刷制备电极 | 第101-106页 |
| 7.3 分析 | 第106-112页 |
| 7.4 本章小结 | 第112-113页 |
| 第八章 结论 | 第113-116页 |
| 参考文献 | 第116-123页 |
| 致谢 | 第123-124页 |
| 附录 | 第124-126页 |
| 攻读学位期间第一作者发表的论文 | 第124页 |
| 攻读学位期间参加的学术活动情况 | 第124-125页 |
| 攻读学位期间参加的科研项目 | 第125-126页 |
