| ABSTRACT | 第5-6页 |
| PREFACE | 第7-8页 |
| LIST OF ORIGINAL PAPERS | 第8-9页 |
| LIST OF ABBREVIATION AND ACRONYMS | 第9-10页 |
| TABLE OF CONTENT | 第10-13页 |
| TABLE OF FIGURES | 第13-16页 |
| 1 INTRODUCTION | 第16-17页 |
| 2 BACKGROUND | 第17-37页 |
| 2.1 Atomic Layer Deposition | 第17-25页 |
| 2.1.1 Definition of atomic layer deposition | 第17-18页 |
| 2.1.2 Description of ALD system | 第18-21页 |
| 2.1.2.1 The schematic of ALD system | 第18-20页 |
| 2.1.2.2 Reaction mechanism | 第20-21页 |
| 2.1.3 Growth theory | 第21-22页 |
| 2.1.4 Characteristics ALD growth | 第22-25页 |
| 2.2 Plasma-Assisted Atomic Layer Deposition | 第25-30页 |
| 2.2.1 Description of PA-ALD | 第25-27页 |
| 2.2.2 The process and reaction mechanism of plasma assisted ALD | 第27-29页 |
| 2.2.3 PA-ALD for polymer application | 第29-30页 |
| 2.3 Atmospheric Non-thermal Plasmas | 第30-37页 |
| 2.3.1 Description of non-thermal plasma | 第30-33页 |
| 2.3.2 Dielectric harrier discharge(DBD)plasma | 第33-35页 |
| 2.3.3 Gaseous plasma | 第35页 |
| 2.3.4 Effect of plasma pressure on the polymer treatment | 第35-37页 |
| 3 EXPERIMENTAL PROCEDURES | 第37-44页 |
| 3.1 Experimental of the Su rface Modification of UHMWPE fiber by PA-ALD | 第37-40页 |
| 3.1.1 Materials | 第37页 |
| 3.1.2 Plasma-assisted atomic layer deposition process | 第37-38页 |
| 3.1.3 Characterizations | 第38-40页 |
| 3.1.3.1 SEM imaging | 第38页 |
| 3.1.3.2 Micromechanical test | 第38-39页 |
| 3.1.3.3 FTIR analysis | 第39-40页 |
| 3.1.3.4 AFM evaluation | 第40页 |
| 3.2 Experimental of the Influence of Low Pressure Argon Plasma on the Deposition of Al_2O_3 Film onto PET Surfaces by ALD | 第40-42页 |
| 3.2.1 Materials | 第40页 |
| 3.2.2 PA-ALD deposition | 第40-41页 |
| 3.2.3 Characterizations | 第41-42页 |
| 3.3 Experimental of DBD Plasma Treatment on PET Film | 第42-44页 |
| 3.3.1 Material & plasma treatment | 第42-43页 |
| 3.3.2 Charaterizations | 第43-44页 |
| 4 RESULTS & DISCUSSION | 第44-81页 |
| 4.1 Surface Modification of UHMWPE Fiber by PA-ALD | 第44-51页 |
| 4.1.1 The discharge voltage waveform | 第44页 |
| 4.1.2 Typical of force-strain curve | 第44-45页 |
| 4.1.3 The thickness of Al_2O3 film onto the silicon | 第45-47页 |
| 4.1.4 SEM and AFM imgage of UHMWPE fibers | 第47-48页 |
| 4.1.5 Surface morphology of the Al_2O3 coated UHMWPE fiber | 第48-49页 |
| 4.1.6 Chemical structure of the fiber surfaces | 第49-50页 |
| 4.1.7 Interfacial shear strength of fiber-matrix interface | 第50-51页 |
| 4.2 Surface Modification of PET Film by ALD and PA-ALD | 第51-69页 |
| 4.2.1 Waveform of the discharge voltage and the current | 第51-52页 |
| 4.2.2 FESEM cross section images of the Al_2O_3 coated silicon | 第52页 |
| 4.2.3 FESEM front view images | 第52-56页 |
| 4.2.4 EDS analysis | 第56-57页 |
| 4.2.5 Surface morphology of the Al_2O_3 ALD coated PET film | 第57-60页 |
| 4.2.6 Contact angle measurement | 第60-61页 |
| 4.2.7 Structural analysis of XRD | 第61-62页 |
| 4.2.8 FTIR spectra | 第62-63页 |
| 4.2.9 XPS spectra analysis | 第63-69页 |
| 4.2.9.1 Chemical composition of the Al_2O_3 coated PET film | 第63-64页 |
| 4.2.9.2 The identification of the surface modification in the C 1s spectra | 第64-67页 |
| 4.2.9.3 The chemical states of the O 1s and Al 2p spectra | 第67-69页 |
| 4.3 Dielectric Barrier Discharge(DBD)Plasma Treatment on Polyethylene terephthalate(PET)Film | 第69-81页 |
| 4.3.1 Waveforms of the discharge voltage and the current | 第69页 |
| 4.3.2 Optical emission spectroscopy | 第69-71页 |
| 4.3.3 SEM images of PET film | 第71-72页 |
| 4.3.4 Contact angle test | 第72-76页 |
| 4.3.5 FTIR analysis | 第76-79页 |
| 4.3.6 Surface morphology and roughness | 第79-81页 |
| 5 CONCLUSIONS | 第81-83页 |
| REFERENCES | 第83-94页 |
