| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第12-24页 |
| 1.1 引言 | 第12页 |
| 1.2 石墨烯简介 | 第12-18页 |
| 1.2.1 石墨烯的结构 | 第12-13页 |
| 1.2.2 石墨烯的制备 | 第13-16页 |
| 1.2.3 石墨烯的性能 | 第16-18页 |
| 1.3 石墨烯在光电器件的研究近状 | 第18-21页 |
| 1.3.1 石墨烯/硅肖特基结太阳能电池研究进展 | 第18页 |
| 1.3.2 硅基石墨烯光电探测器的研究进展 | 第18-21页 |
| 1.4 本文研究内容及意义 | 第21-24页 |
| 1.4.1 研究内容 | 第21-22页 |
| 1.4.2 研究意义 | 第22-24页 |
| 第2章 实验方法 | 第24-30页 |
| 2.1 实验方案 | 第24-25页 |
| 2.2 实验设备 | 第25-26页 |
| 2.2.1 双面对准光刻机 | 第25页 |
| 2.2.2 电子束蒸发镀膜机 | 第25页 |
| 2.2.3 深反应刻蚀机 | 第25页 |
| 2.2.4 拉曼光谱仪 | 第25-26页 |
| 2.2.5 半导体器件测试仪 | 第26页 |
| 2.2.6 其他仪器 | 第26页 |
| 2.3 石墨烯的转移 | 第26-27页 |
| 2.4 石墨烯的表征 | 第27-28页 |
| 2.5 本章小结 | 第28-30页 |
| 第3章 基于石墨烯/硅肖特基结的研究 | 第30-48页 |
| 3.1 石墨烯/硅肖特基结的紫外光电探测器的工作原理 | 第30-33页 |
| 3.1.1 肖特基结的整流理论 | 第30-32页 |
| 3.1.2 石墨烯/硅肖特基结模型 | 第32-33页 |
| 3.2 石墨烯/硅肖特基结的紫外光电探测器的制备及表征 | 第33-35页 |
| 3.3 石墨烯/硅肖特基结参数分析 | 第35-38页 |
| 3.4 石墨烯/硅肖特基结的工程应用价值 | 第38-40页 |
| 3.5 基于石墨烯/硅肖特基结的场效应管 | 第40-47页 |
| 3.5.1 金属-半导体接触势垒场效应管 | 第40-42页 |
| 3.5.2 基于石墨烯/硅的接触势垒场效应管 | 第42-47页 |
| 3.6 本章小结 | 第47-48页 |
| 第4章 基于石墨烯/硅肖特基结的金属-半导体-金属光电探测器 | 第48-68页 |
| 4.1 金属-半导体-金属光电探测原理 | 第48-51页 |
| 4.2 石墨烯-硅-石墨烯光电探测器 | 第51-63页 |
| 4.2.1 基于石墨烯/硅的叉指电极的制备及表征 | 第51-55页 |
| 4.2.2 叉指电极的光暗电流测试及工艺改进的影响 | 第55-62页 |
| 4.2.3 基于石墨烯/硅的叉指电极的电容-电压测试 | 第62-63页 |
| 4.3 本章小结 | 第63-66页 |
| 第5章 总结与展望 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-74页 |
| 在攻读硕士学位期间取得的科研成果 | 第74-75页 |
