| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-24页 |
| 1.1 引言 | 第10-11页 |
| 1.2 声光调制器件的国内外研究现状 | 第11-12页 |
| 1.3 声光器件的应用 | 第12-17页 |
| 1.3.1 声光调制器 | 第13-15页 |
| 1.3.2 声光频谱分析器 | 第15-16页 |
| 1.3.3 共线性声光器件 | 第16页 |
| 1.3.4 硅基声光器件 | 第16-17页 |
| 1.4 本论文的研究内容与主要目的 | 第17-19页 |
| 1.5 参考文献 | 第19-24页 |
| 第2章 声光调制器的理论研究 | 第24-35页 |
| 2.1 声表面波的基本原理 | 第24-30页 |
| 2.1.1 压电效应 | 第24-25页 |
| 2.1.2 叉指电极的设计方法 | 第25-27页 |
| 2.1.3 声表面波的激励和传播 | 第27-30页 |
| 2.2 声光效应 | 第30-32页 |
| 2.3 本章小结 | 第32-33页 |
| 2.4 参考文献 | 第33-35页 |
| 第3章 基于SOI的声光调制器设计 | 第35-52页 |
| 3.1 引言 | 第35-37页 |
| 3.2 改进型Mach-Zehnder声光调制器的基本原理 | 第37-38页 |
| 3.3 改进型Mach-Zehnder声光调制器的COMSOL仿真 | 第38-41页 |
| 3.3.1 声学模块仿真 | 第39-40页 |
| 3.3.2 光学模块仿真 | 第40-41页 |
| 3.4 改进型Mach-Zehnder声光调制器的优化设计 | 第41-45页 |
| 3.4.1 波导宽度对有效折射率差值的影响 | 第41-42页 |
| 3.4.2 氧化锌厚度对有效折射率差值的影响 | 第42-43页 |
| 3.4.3 叉指电极的对数对有效折射率差值的影响 | 第43-44页 |
| 3.4.4 声光调制器件调制效率的比较 | 第44-45页 |
| 3.5 环形谐振腔声光调制器的设计 | 第45-47页 |
| 3.6 本章小结 | 第47-49页 |
| 3.7 参考文献 | 第49-52页 |
| 第4章 基于SOI的声光调制器的制作与测试 | 第52-72页 |
| 4.1 器件基本制作工艺的介绍 | 第52-55页 |
| 4.1.1 磁控溅射工艺 | 第52-53页 |
| 4.1.2 套刻 | 第53-54页 |
| 4.1.3 电子束蒸发 | 第54-55页 |
| 4.2 实验测试平台软件的设计 | 第55-58页 |
| 4.2.1 LabVIEW简介 | 第55页 |
| 4.2.2 实验平台设备简介 | 第55-57页 |
| 4.2.3 测试程序的设计 | 第57-58页 |
| 4.3 声光调制器的制作流程 | 第58-60页 |
| 4.4 声光调制器的表征与测试 | 第60-70页 |
| 4.4.1 实验制作过程表征 | 第60-64页 |
| 4.4.2 声光调制器测试与分析 | 第64-70页 |
| 4.5 本章小结 | 第70-71页 |
| 4.6 参考文献 | 第71-72页 |
| 第5章 总结与展望 | 第72-74页 |
| 攻读硕士学位期间所取得的研究成果 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75页 |
