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基于PET基底近红外电磁屏蔽膜的研究

摘要第4-5页
ABSTRACT第5页
第一章 绪论第7-13页
    1.1 引言第7页
    1.2 研究现状第7-11页
    1.3 课题研究的主要内容第11-13页
第二章 金属网栅的基础理论与结构设计第13-22页
    2.1 金属网栅的电磁屏蔽特性第13-17页
    2.2 金属网栅的光学透过特性第17-19页
    2.3 金属网栅特征参数优化设计第19-21页
    2.4 本章小结第21-22页
第三章 光刻工艺研究第22-32页
    3.1 光刻工艺的概述第22-23页
    3.2 实验制作第23-30页
    3.3 实验结果第30-31页
    3.4 本章小结第31-32页
第四章 PET基底镀膜工艺研究第32-48页
    4.1 热蒸发制备金属薄膜第32-38页
    4.2 磁控溅射制备金属薄膜第38-47页
    4.3 本章小结第47-48页
第五章 测试与分析第48-52页
    5.1 光谱性能第48-49页
    5.2 电磁屏蔽性能第49-51页
    5.3 本章小结第51-52页
第六章 总结与展望第52-54页
    6.1 总结第52页
    6.2 创新点第52-53页
    6.3 展望第53-54页
致谢第54-55页
参考文献第55-57页
附录第57页

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