| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 极紫外光刻研究进展 | 第9-11页 |
| 1.2 极紫外光刻光源的产生方式及研究进展 | 第11-16页 |
| 1.2.1 激光等离子体极紫外光刻光源 | 第12-13页 |
| 1.2.2 气体放电等离子体极紫外光刻光源 | 第13-14页 |
| 1.2.3 激光辅助放电等离子体极紫外光刻光源 | 第14-16页 |
| 1.3 飞秒激光烧蚀金属研究现状 | 第16-17页 |
| 1.4 本课题研究意义及内容 | 第17-19页 |
| 第二章 激光辅助放电等离子体的物理过程 | 第19-27页 |
| 2.1 激光烧蚀材料物理过程 | 第19-21页 |
| 2.2 飞秒激光烧蚀材料的特性 | 第21-24页 |
| 2.3 Z箍缩等离子体 | 第24-26页 |
| 2.4 本章小节 | 第26-27页 |
| 第三章 真空中飞秒激光烧蚀铝、锡实验 | 第27-38页 |
| 3.1 提供理想光源放电所需金属材料基本量的估算 | 第27-28页 |
| 3.2 实验装置 | 第28-30页 |
| 3.3 透镜焦点附近的烧蚀斑大小与飞秒激光能量的关系 | 第30-32页 |
| 3.4 激光脉冲数和烧蚀深度的关系 | 第32-34页 |
| 3.5 激光能量密度与烧蚀深度、烧蚀效率的关系 | 第34-36页 |
| 3.6 本章小结 | 第36-38页 |
| 第四章 气体环境下飞秒激光烧蚀金属实验 | 第38-46页 |
| 4.1 飞秒烧蚀的实验装置 | 第38-39页 |
| 4.2 气体环境下实验结果与分析 | 第39-42页 |
| 4.2.1 烧蚀斑大小与激光能量的关系研究 | 第39页 |
| 4.2.2 激光脉冲数和烧蚀深度的关系 | 第39-40页 |
| 4.2.3 激光能量密度与烧蚀深度的关系 | 第40-42页 |
| 4.3 气体环境下烧蚀材料质量迁移轨迹的散射成像 | 第42-45页 |
| 4.3.1 激光散射成像实验装置 | 第42-44页 |
| 4.3.2“金属云”存在时间的测量 | 第44-45页 |
| 4.4 本章小结 | 第45-46页 |
| 第五章 总结与展望 | 第46-47页 |
| 致谢 | 第47-48页 |
| 参考文献 | 第48-51页 |
| 攻读硕士期间学术成果 | 第51页 |