超精密角位移测量与智能控制技术的研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 课题的研究背景及意义 | 第8-9页 |
| 1.2 角位移测量的研究现状 | 第9-13页 |
| 1.2.1 角位移测量技术 | 第9-12页 |
| 1.2.2 角位移驱动控制技术 | 第12-13页 |
| 1.3 本课题研究内容 | 第13-15页 |
| 第2章 精密角位移测量建模及仿真 | 第15-35页 |
| 2.1 光栅衍射原理概述 | 第15-17页 |
| 2.1.1 单光栅衍射现象 | 第15-16页 |
| 2.1.2 双光栅衍射现象 | 第16-17页 |
| 2.2 透射式光栅衍射系统测量原理 | 第17-23页 |
| 2.2.1 光栅透射特性分析 | 第17-19页 |
| 2.2.2 透射式光栅的衍射现象分析 | 第19-21页 |
| 2.2.3 光栅间隙的选择 | 第21-23页 |
| 2.3 透射式双光栅衍射数学模型的仿真 | 第23-28页 |
| 2.3.1 数值积分算法 | 第23-24页 |
| 2.3.2 透射光栅仿真结果 | 第24-28页 |
| 2.4 角位移测量分析及建模 | 第28-32页 |
| 2.4.1 光栅旋转时莫尔信号的变化规律 | 第28-30页 |
| 2.4.2 莫尔信号周期角 | 第30-31页 |
| 2.4.3 角位移测量仿真 | 第31-32页 |
| 2.5 光栅测量精度影响因素 | 第32-35页 |
| 2.5.1 光栅平行度的影响 | 第32-33页 |
| 2.5.2 光栅常数的影响 | 第33-35页 |
| 第3章 精密角度定位硬件系统构成 | 第35-49页 |
| 3.1 系统总体结构组成 | 第35-36页 |
| 3.2 光路系统及工控机的选择 | 第36-39页 |
| 3.2.1 光路系统选择 | 第36-38页 |
| 3.2.2 工控机和数据采集卡的选择 | 第38-39页 |
| 3.3 宏位移机构组成 | 第39-41页 |
| 3.4 微位移机构组成 | 第41-45页 |
| 3.4.1 压电陶瓷 | 第41-43页 |
| 3.4.2 柔性铰链 | 第43-45页 |
| 3.5 宏微复合式定位算法设计 | 第45-47页 |
| 3.5.1 算法设计 | 第45-46页 |
| 3.5.2 软件设计 | 第46-47页 |
| 3.6 角度定位的实验结果 | 第47-49页 |
| 第4章 精密角度定位的智能控制技术 | 第49-60页 |
| 4.1 压电陶瓷特性 | 第49-51页 |
| 4.1.1 迟滞特性 | 第49-50页 |
| 4.1.2 蠕变性 | 第50-51页 |
| 4.1.3 温度特性 | 第51页 |
| 4.2 压电陶瓷智能控制 | 第51-58页 |
| 4.2.1 BP神经网络 | 第51-54页 |
| 4.2.2 神经网络PID控制实现 | 第54-56页 |
| 4.2.3 神经网络建模及训练 | 第56-57页 |
| 4.2.4 压电陶瓷智能控制器设计 | 第57-58页 |
| 4.3 实验结果分析 | 第58-60页 |
| 第5章 结论与展望 | 第60-62页 |
| 5.1 结论 | 第60页 |
| 5.2 展望 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 在读期间发表的学术论文及研究成果 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66页 |
