| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-23页 |
| 1.1 硬质涂层研究历史 | 第10-16页 |
| 1.1.1 硬质涂层的发展进程 | 第10-13页 |
| 1.1.2 硬质涂层的研究方向 | 第13-16页 |
| 1.2 硬质涂层制备方法 | 第16-19页 |
| 1.2.1 磁控溅射原理 | 第17-18页 |
| 1.2.2 磁控溅射分类 | 第18-19页 |
| 1.3 有限元压痕仿真分析 | 第19-21页 |
| 1.3.1 ABAQUS有限元分析 | 第19页 |
| 1.3.2 有限元压痕仿真研究现状 | 第19-21页 |
| 1.4 研究内容与意义 | 第21-23页 |
| 第二章 实验内容 | 第23-31页 |
| 2.1 实验技术路线 | 第23-24页 |
| 2.2 原材料 | 第24页 |
| 2.3 实验设备 | 第24-25页 |
| 2.4 涂层有限元仿真分析 | 第25-26页 |
| 2.5 涂层微观组织分析 | 第26-27页 |
| 2.5.1 涂层厚度分析 | 第26页 |
| 2.5.2 涂层多层结构分析 | 第26页 |
| 2.5.3 涂层物相分析 | 第26-27页 |
| 2.6 涂层摩擦磨损分析 | 第27-28页 |
| 2.6.1 涂层磨痕形貌分析 | 第27页 |
| 2.6.2 涂层摩擦性能分析 | 第27-28页 |
| 2.7 涂层硬度及纳米压痕分析 | 第28-31页 |
| 2.7.1 涂层显微硬度分析 | 第28-29页 |
| 2.7.2 涂层纳米压痕分析 | 第29-31页 |
| 第三章 TiN/a-SiN多层硬质涂层性能研究 | 第31-59页 |
| 3.1 单层涂层 | 第31-37页 |
| 3.1.1 制备单层TiN、单层a-SiN薄膜 | 第31-32页 |
| 3.1.2 单层TiN、单层SiN薄膜结构分析 | 第32-33页 |
| 3.1.3 单层TiN、单层a-SiN薄膜力学性能 | 第33-36页 |
| 3.1.4 单层TiN、单层a-SN薄膜有限元仿真 | 第36-37页 |
| 3.2 调制比1:1的TiN/a-SiN多层硬质涂层力学性能研究 | 第37-45页 |
| 3.2.1 实验制备调制比1:1的TiN/a-SiN多层膜 | 第37-39页 |
| 3.2.2 调制比1:1的TiN/a-SiN多层膜硬度及压痕分析 | 第39-41页 |
| 3.2.3 调制比1:1的TiN/a-SiN多层膜摩擦性能分析 | 第41-43页 |
| 3.2.4 调制比1:1的TNa-SiN多层膜仿真分析 | 第43-45页 |
| 3.3 TiN(5nm)/a-SiN多层硬质涂层力学性能研究 | 第45-51页 |
| 3.3.1 实验制备TiN(5nm)/a-SiN多层膜 | 第45-46页 |
| 3.3.2 TiN(5nm)/a-SiN多层膜硬度及压痕分析 | 第46-48页 |
| 3.3.3 TiN(5nm) /a-SiN多层膜摩擦性能分析 | 第48-50页 |
| 3.3.4 TiN(5nm)/a-SiN多层膜仿真分析 | 第50-51页 |
| 3.4 TiN(10nm)/a-SiN多层硬质涂层力学性能研究 | 第51-58页 |
| 3.4.1 实验制备TiN(10nm)/a-SiN多层膜 | 第51-53页 |
| 3.4.2 TiN(10nm)/a-SiN多层膜硬度及压痕分析 | 第53-54页 |
| 3.4.3 TiN(10nm)/a-SiN多层膜摩擦性能分析 | 第54-56页 |
| 3.4.4 TiN(10nm)/a-SiN多层膜仿真分析 | 第56-58页 |
| 3.5 本章小结 | 第58-59页 |
| 第四章 TiN/a-C多层硬质涂层性能研究 | 第59-85页 |
| 4.1 单层涂层 | 第59-64页 |
| 4.1.1 制备单层TiN、单层a-C涂层 | 第59-60页 |
| 4.1.2 单层TiN、单层a-C薄膜结构分析 | 第60-61页 |
| 4.1.3 单层TiN、单层a-C薄膜力学性能 | 第61-63页 |
| 4.1.4 单层TiN、单层a-C薄膜有限元仿真 | 第63-64页 |
| 4.2 调制比1:1的TiN/a-C多层硬质涂层力学性能研究 | 第64-71页 |
| 4.2.1 实验制备调制比1:1的TiN/a-C多层膜 | 第64-65页 |
| 4.2.2 调制比1:1的TiN/a-C多层膜硬度及压痕分析 | 第65-67页 |
| 4.2.3 调制比1:1的TN/a-C多层膜摩擦性能分析 | 第67-69页 |
| 4.2.4 调制比1:1的TiN/a-C多层膜仿真分析 | 第69-71页 |
| 4.3 TiN(5nm)/a-C多层硬质涂层力学性能研究 | 第71-77页 |
| 4.3.1 实验制备TiN(5nm) /a-C多层膜 | 第71-72页 |
| 4.3.2 TiN(5nm)/a-C多层膜硬度及压痕分析 | 第72-74页 |
| 4.3.3 TiN(5nm)/a-C多层膜摩擦性能分析 | 第74-76页 |
| 4.3.4 TiN(5nm)/a-C多层膜仿真分析 | 第76-77页 |
| 4.4 TiN(10nm)/a-C多层硬质涂层力学性能研究 | 第77-84页 |
| 4.4.1 实验制备TiN(10nm)/a-C多层膜 | 第77-78页 |
| 4.4.2 TiN(10nm)/a-C多层膜硬度及压痕分析 | 第78-80页 |
| 4.4.3 TiN(10nm)/a-C多层膜摩擦性能分析 | 第80-82页 |
| 4.4.4 TiN(10nm)/a-C多层膜仿真分析 | 第82-84页 |
| 4.5 本章小结 | 第84-85页 |
| 第五章 a-SiN、a-C对多层膜力学性能的影响 | 第85-88页 |
| 5.1 a-SiN、a-C对多层膜压痕测试影响 | 第85-86页 |
| 5.2 a-SiN、a-C对多层膜摩擦磨损测试影响 | 第86-88页 |
| 第六章 结论与展望 | 第88-90页 |
| 6.1 结论 | 第88-89页 |
| 6.2 展望 | 第89-90页 |
| 参考文献 | 第90-95页 |
| 致谢 | 第95-96页 |
| 攻读硕士期间发表的文章专利 | 第96页 |
