| 中文摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-10页 |
| 1 绪论 | 第10-20页 |
| ·问题的提出及研究的必要性 | 第10-11页 |
| ·研究的目标 | 第11页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第11页 |
| ·国内外研究现状 | 第11-16页 |
| ·弯曲法 | 第11-12页 |
| ·压痕法 | 第12-13页 |
| ·膨胀法 | 第13-14页 |
| ·X 射线衍射(XRD)和激光曲率结合法 | 第14-15页 |
| ·表面波法 | 第15页 |
| ·微拉伸法 | 第15-16页 |
| ·各种评价方法的主要特点 | 第16-17页 |
| ·弯曲法 | 第16页 |
| ·压痕法 | 第16-17页 |
| ·膨胀法 | 第17页 |
| ·X 射线衍射(XRD)和激光曲率结合法 | 第17页 |
| ·表面波法 | 第17页 |
| ·微拉伸法 | 第17页 |
| ·本课题的特色及创新之处 | 第17-18页 |
| ·应用价值 | 第18-20页 |
| 2 基本理论 | 第20-30页 |
| ·冯●卡门圆薄板大挠度理论 | 第20-23页 |
| ·几何方程 | 第20-22页 |
| ·平衡方程 | 第22页 |
| ·协调方程 | 第22-23页 |
| ·赫兹接触理论 | 第23-28页 |
| ·几何关系 | 第23-24页 |
| ·基本假定 | 第24-25页 |
| ·两弹性球体间的接触 | 第25-26页 |
| ·一般接触情形的接触面方程 | 第26-28页 |
| ·梁的平面弯曲变形 | 第28-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 3 薄膜杨氏弹性模量及泊松比的常用测试理论及其实践 | 第30-84页 |
| ·弯曲法 | 第30-45页 |
| ·三点弯曲法 | 第30-38页 |
| ·悬臂梁法 | 第38-40页 |
| ·四点弯曲法 | 第40-45页 |
| ·小结 | 第45页 |
| ·压痕法 | 第45-61页 |
| ·压痕法的试验原理和方法 | 第45-52页 |
| ·薄膜弹性模量的测量 | 第52-57页 |
| ·Shuangbiao Liu 压痕试验模型 | 第57-58页 |
| ·压痕法和声学结合测量 | 第58-60页 |
| ·小结 | 第60-61页 |
| ·膨胀法 | 第61-74页 |
| ·试验原理 | 第61页 |
| ·Beams 方程 | 第61-64页 |
| ·最小能量法解 | 第64-65页 |
| ·Vlassak 解 | 第65-68页 |
| ·无残余应力情况 | 第68页 |
| ·有残余应力情况 | 第68页 |
| ·一般情况 | 第68-69页 |
| ·考虑弯曲刚度的影响 | 第69页 |
| ·矩形薄膜 | 第69页 |
| ·通用的薄膜膨胀方程 | 第69-70页 |
| ·复合薄膜泊松比和弹性模量的测量 | 第70页 |
| ·试验步骤及装置 | 第70-74页 |
| ·小结 | 第74页 |
| ·X 射线衍射(XRD)和激光曲率方法结合法 | 第74-82页 |
| ·理论基础 | 第75-76页 |
| ·XRD 法测六个应变分量 | 第76-78页 |
| ·XRD 法测残余应力 | 第78-80页 |
| ·薄膜杨氏模量和泊松比的测量 | 第80-82页 |
| ·小结 | 第82页 |
| ·本章小结 | 第82-84页 |
| 4 薄膜杨氏弹性模量和泊松比的几何测试理论 | 第84-112页 |
| ·概述 | 第84-85页 |
| ·鼓泡试验技术国内外研究现状 | 第85-88页 |
| ·流体静压鼓泡试验技术的现状 | 第85-86页 |
| ·轴载鼓泡试验技术的现状 | 第86-88页 |
| ·周边夹紧的圆薄膜变形问题的国内外研究现状 | 第88-89页 |
| ·进一步研究的必要性 | 第89-90页 |
| ·流体静压鼓泡加载装置新技术方案 | 第90-92页 |
| ·薄膜方程及其解 | 第92-96页 |
| ·薄膜杨氏弹性模量及泊松比的测试理论 | 第96-98页 |
| ·测试系统设计 | 第98-106页 |
| ·设计理念 | 第98-100页 |
| ·加压系统设计 | 第100页 |
| ·测量系统设计 | 第100-102页 |
| ·信号采集系统设计 | 第102-104页 |
| ·薄膜夹具设计 | 第104-105页 |
| ·连接器件设计 | 第105页 |
| ·系统整合 | 第105-106页 |
| ·薄膜杨氏弹性模量及泊松比的几何测试 | 第106-111页 |
| ·独立薄膜 | 第106-107页 |
| ·包衣薄膜 | 第107-111页 |
| ·本章小结 | 第111-112页 |
| 5 与现有测试技术的比较 | 第112-118页 |
| ·几何测试方法的优点 | 第112-113页 |
| ·与现有测试技术的比较 | 第113-117页 |
| ·与弯曲法比较 | 第113页 |
| ·与压痕法比较 | 第113-115页 |
| ·与膨胀法比较 | 第115-116页 |
| ·与X 射线衍射(XRD)和激光曲率结合法比较 | 第116-117页 |
| ·本章小结 | 第117-118页 |
| 6 结论与展望 | 第118-120页 |
| ·主要结论 | 第118页 |
| ·研究展望 | 第118-120页 |
| 致谢 | 第120-122页 |
| 参考文献 | 第122-128页 |
| 附录 1 | 第128-130页 |
| A. 学术论文 | 第128页 |
| B. 发明专利 | 第128页 |
| C. 参加的科研项目 | 第128-130页 |
| 附录 2 | 第130-131页 |
| A. 已获权的发明专利 | 第130页 |
| B. 已申请的发明专利 | 第130页 |
| C. 学术论文 | 第130-131页 |