| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 引言 | 第10-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 气敏传感器概述 | 第11-13页 |
| 1.1.1 气敏传感器的发展概况 | 第11-12页 |
| 1.1.2 气敏传感器的分类 | 第12-13页 |
| 1.2 金属氧化物半导体气敏传感器的工作原理 | 第13-15页 |
| 1.3 纳米钨氧化物(WOx)的研究现状 | 第15-16页 |
| 1.4 纳米钨氧化物(WOx)的制备方法 | 第16-17页 |
| 1.5 钨氧化物(WOx)的形貌特点 | 第17-18页 |
| 1.6 气敏测试的主要指标 | 第18-20页 |
| 1.7 钨氧化物(WOx)的表征方法 | 第20-22页 |
| 1.8 本论文的选题意义和主要研究内容 | 第22-23页 |
| 第2章 WO_3纳米材料的制备、改性及气敏性能研究 | 第23-47页 |
| 2.1 实验部分 | 第23-27页 |
| 2.1.1 实验试剂 | 第23-24页 |
| 2.1.2 实验仪器 | 第24-25页 |
| 2.1.3 WO_3纳米材料的制备 | 第25页 |
| 2.1.4 WO_3纳米材料的改性 | 第25-27页 |
| 2.1.5 表征 | 第27页 |
| 2.2 气敏器件的制备与测试 | 第27-30页 |
| 2.2.1 旁热式气敏器件的敏感特性原理 | 第27-28页 |
| 2.2.2 旁热式气敏器件的制作 | 第28-29页 |
| 2.2.3 气敏测试步骤 | 第29-30页 |
| 2.3 结果与讨论 | 第30-46页 |
| 2.3.1 WO_3纳米管的形貌与结构特征 | 第30-34页 |
| 2.3.2 WO_3纳米管气敏性能 | 第34-39页 |
| 2.3.3 WO_3纳米片的形貌与结构特征 | 第39-42页 |
| 2.3.4 WO_3纳米片气敏性能 | 第42-46页 |
| 2.4 本章小结 | 第46-47页 |
| 第3章 W_(18)O_(49)纳米材料的制备、改性及气敏性能研究 | 第47-59页 |
| 3.1 实验试剂与仪器 | 第47-49页 |
| 3.1.1 实验试剂 | 第47-48页 |
| 3.1.2 实验仪器 | 第48-49页 |
| 3.2 W_(18)O_(49)纳米纤维材料的制备 | 第49-50页 |
| 3.2.1 W_(18)O_(49)纳米纤维材料的制备 | 第49页 |
| 3.2.2 W_(18)O_(49)纳米纤维材料改性 | 第49-50页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第50-54页 |
| 3.3.1 形貌分析 | 第50-52页 |
| 3.3.2 X射线衍射图谱分析 | 第52页 |
| 3.3.3 X射线光电子能谱分析 | 第52-54页 |
| 3.4 气敏测试 | 第54-58页 |
| 3.4.1 工作温度对气敏性能的影响 | 第54-55页 |
| 3.4.2 掺杂比对气敏性能的影响 | 第55-56页 |
| 3.4.3 递增气体浓度器件气敏特性变化 | 第56-57页 |
| 3.4.3 不同气体下的器件气敏性能比较 | 第57-58页 |
| 3.5 本章小结 | 第58-59页 |
| 第4章 结论与展望 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 攻读学位期间公开发表论文 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 作者简介 | 第67页 |
