| 摘要 | 第4-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 引言 | 第10-22页 |
| 1.1 低温等离子体概况 | 第10-11页 |
| 1.1.1 低温等离子体的产生 | 第10-11页 |
| 1.2 射频等离子体的放电种类 | 第11-12页 |
| 1.2.1 电感耦合等离子体放电 | 第11-12页 |
| 1.2.2 电容耦合等离子体放电 | 第12页 |
| 1.3 容性耦合等离子体理论 | 第12-19页 |
| 1.3.1 容性耦合等离子体的电磁效应 | 第12-14页 |
| 1.3.2 等离子体鞘层理论 | 第14-16页 |
| 1.3.3 容性耦合等离子体的加热机制 | 第16-18页 |
| 1.3.4 容性耦合等离子体的研究背景与现状 | 第18-19页 |
| 1.4 低气压容性耦合等离子体的应用 | 第19-21页 |
| 1.4.1 刻蚀技术 | 第19-21页 |
| 1.5 本文的研究内容 | 第21-22页 |
| 第二章 容性耦合等离子体实验装置 | 第22-30页 |
| 2.1 射频容性耦合等离子体装置 | 第22-25页 |
| 2.1.1 等离子体产生装置 | 第22-23页 |
| 2.1.2 静电探针诊断装置 | 第23-25页 |
| 2.2 朗缪尔探针诊断技术 | 第25-28页 |
| 2.2.1 低温等离子体诊断方法的分类 | 第25页 |
| 2.2.2 朗缪尔探针结构 | 第25-26页 |
| 2.2.3 朗缪尔双探针的工作原理 | 第26-28页 |
| 2.2.4 朗缪尔探针使用条件 | 第28页 |
| 2.3 扫描电子显微镜（SEM） | 第28-29页 |
| 2.4 光刻胶刻蚀速率的计算方法 | 第29-30页 |
| 第三章 通孔圆孔极板点亮问题对等离子体空间分布的影响 | 第30-38页 |
| 3.1 通孔圆孔极板结构 | 第30页 |
| 3.2 通孔圆孔点亮问题 | 第30-32页 |
| 3.3 通孔圆孔点亮问题对等离子体空间分布的影响 | 第32-34页 |
| 3.3.1 功率 50W条件下，点亮问题对等离子体空间分布的影响 | 第32-33页 |
| 3.3.2 功率对点亮通孔圆孔等离子体空间分布的影响 | 第33-34页 |
| 3.4 通孔圆孔点亮问题对氧气刻蚀光刻胶的影响 | 第34-36页 |
| 3.5 本章小结 | 第36-38页 |
| 第四章 极板类型及配置对氩气容性耦合等离子体的影响 | 第38-50页 |
| 4.1 圆孔刻槽极板 | 第38-41页 |
| 4.1.1 圆孔刻槽极板结构 | 第38页 |
| 4.1.2 功率对圆孔刻槽极板的影响 | 第38-39页 |
| 4.1.3 圆孔刻槽极板对等离子体均匀性的影响 | 第39-41页 |
| 4.2 极性电极 | 第41-46页 |
| 4.2.1 极性电极的结构 | 第41-42页 |
| 4.2.2 功率对极性电极的影响 | 第42-43页 |
| 4.2.3 极性电极对等离子体均匀性的影响 | 第43-46页 |
| 4.3 栅型电极 | 第46-48页 |
| 4.3.1 栅型电极结构及尺寸 | 第46页 |
| 4.3.2 栅型电极对等离子体及其均匀性的影响 | 第46-48页 |
| 4.4 本章小结 | 第48-50页 |
| 第五章 极板类型及配置对光刻胶刻蚀的影响 | 第50-54页 |
| 5.1 圆孔刻槽极板 | 第50页 |
| 5.2 极性极板 | 第50-51页 |
| 5.3 栅型电极 | 第51-52页 |
| 5.4 本章小结 | 第52-54页 |
| 第六章 结论 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-61页 |
| 硕士期间发表论文 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62页 |
