| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| ·课题来源与研究目的和意义 | 第9-10页 |
| ·国内外光刻机工件台研究现状及分析 | 第10-14页 |
| ·国外光刻机工件台研究现状及分析 | 第10-13页 |
| ·国内光刻机工件台研究现状及分析 | 第13-14页 |
| ·有限元分析法及其在光刻机动态特性分析中的应用 | 第14-15页 |
| ·有限元分析法 | 第14页 |
| ·有限元分析在光刻机微动台仿真研究中的应用 | 第14-15页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第15-16页 |
| 第2章 光刻机微动台动态特性仿真分析 | 第16-42页 |
| ·有限元模型的建立 | 第16-20页 |
| ·光刻机双驱动微动台系统方案介绍 | 第16-17页 |
| ·光刻机微动台三维实体建模 | 第17-18页 |
| ·网格划分及有限元模型建立 | 第18-20页 |
| ·静力学分析 | 第20-24页 |
| ·光刻机微动台静力学分析 | 第20-23页 |
| ·光刻机工件台静力学分析 | 第23-24页 |
| ·动态特性分析 | 第24-41页 |
| ·气浮导轨刚度工程计算与实验验证 | 第25-30页 |
| ·模态分析 | 第30-33页 |
| ·瞬态响应分析 | 第33-39页 |
| ·谐响应分析 | 第39-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第3章 光刻机微动台材料特性分析 | 第42-53页 |
| ·常用工程陶瓷类材料介绍 | 第42-43页 |
| ·微动台基板稳态热分析 | 第43-46页 |
| ·微动台chuck 板稳态热分析 | 第43-44页 |
| ·重力补偿器支撑板稳态热分析 | 第44-46页 |
| ·微动台基板热-结构耦合分析 | 第46-49页 |
| ·微动台chuck 板热-结构耦合分析 | 第46-47页 |
| ·重力补偿器支撑板热-结构耦合分析 | 第47-49页 |
| ·材料振动特性分析 | 第49-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第4章 光刻机微动台系统结构优化设计 | 第53-67页 |
| ·基于正交试验的 chuck 结构优化设计 | 第53-56页 |
| ·基于ANSYS 拓扑分析的微动台基板去重结构优化设计 | 第56-62页 |
| ·ANSYS 拓扑分析概述 | 第56-57页 |
| ·微动台上基板拓扑分析 | 第57-59页 |
| ·微动台下基板拓扑分析 | 第59-62页 |
| ·光刻机双工件台交换系统优化设计 | 第62-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 结论 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第72-74页 |
| 致谢 | 第74页 |