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LPCVD技术沉积的ZnO薄膜及其特性研究

摘要第1-7页
abstract第7-11页
第1章 绪论第11-19页
   ·研究背景及意义第11-14页
   ·研究现状第14-16页
   ·本论文组织结构第16-19页
第2章 材料制备与性能表征第19-29页
   ·LPCVD ZnO薄膜的制备第19-20页
   ·CIGS电池器件制备第20页
   ·材料和器件性能的表征方法和原理第20-29页
     ·台阶仪第20-21页
     ·方块电阻第21-22页
     ·霍尔(Hall)测试第22-23页
     ·紫外-可见-近红外光谱仪第23-25页
     ·扫描电子显微镜(SEM)第25-26页
     ·原子力显微镜(AFM)第26页
     ·X射线衍射第26-27页
     ·太阳能电池测试第27-29页
第3章 LPCVD沉积ZnO薄膜及其性质研究第29-53页
   ·沉积时间对沉积ZnO薄膜的影响第29-35页
     ·厚度、沉积速率及均匀性第29-31页
     ·晶体结构第31-32页
     ·电学性能第32-33页
     ·光学性能第33-35页
   ·衬底温度对沉积ZnO薄膜的影响第35-42页
     ·沉积速率第36-38页
     ·晶体结构第38-40页
     ·电学性能第40-41页
     ·光学性能第41-42页
   ·B掺杂对沉积ZnO薄膜的影响第42-50页
     ·沉积速率第43-44页
     ·表面结构第44-45页
     ·电学特性第45-46页
     ·光学特性第46-50页
   ·本章小结第50-53页
第4章 LPCVD ZnO薄膜湿热衰退特性研究第53-62页
   ·微观结构特性第53-54页
   ·光学性能第54-55页
   ·电学性质第55-58页
   ·退火处理的研究第58-61页
   ·本章小结第61-62页
第5章 Ar等离子体刻蚀ZnO薄膜的研究第62-67页
   ·微观结构特性第62-63页
   ·光学性能第63-64页
   ·电学性能第64-65页
   ·成分组成第65-66页
   ·本章小结第66-67页
结束语第67-69页
参考文献第69-73页
致谢第73-75页
攻读硕士期间发表论文及报告情况第75页

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